판매용 중고 SPEEDFAM 48 BTSW #293727679

ID: 293727679
빈티지: 2008
Lapping machine, 48" Standard thickness: 1½" Ring, 18" Plate speed: 63 RPM (4) Cylinders, 5" Equipped with: Spiral grooved diamond polishing plate, 48" (4) Air cylinders with spiral grooved pressure plates (4) Conditioning rings Drive motor and controller: 7½ HP Table with airlift adjustment Water cooling lapping plate system Air pressure system with gauge and control Automatic cycle timer control Slurry pump Centre reversing mechanism Welded frame Roller bearing guide Control station Operator Manual Power supply: 460 V, 3 Phase, 60 Cycle 2008 vintage.
SPEEDFAM 48 BTSW는 고도의 정밀도 및 품질 표면 마감이 필요한 반도체 제조 공정을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 첨단 기술과 혁신적인 기능을 갖춘 48 BTSW (BTSW) 는 웨이퍼 처리 장비의 최전선에 위치하여 탁월한 성능과 효율성을 제공합니다. SPEEDFAM 48 BTSW의 주요 특징 중 하나는 실리콘, 갈륨 비소, 실리콘 카바이드, 사파이어 및 기타 반도체 기판을 포함한 다양한 재료를 처리하는 다재다능성입니다. 반도체 제조업체들은 이러한 유연성을 통해 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있고, 일관된 결과와 품질 표준 (Quality Standard) 을 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 프로세싱 (wafer processing) 을 위한 다단계 프로세스를 통합하고, 그라인딩부터 시작하여 원하는 두께와 평탄도를 달성합니다. 연삭 단계 (grinding stage) 는 두께 균일성에 대한 엄격한 공차를 유지하면서 웨이퍼 표면에서 과도한 재료를 제거하는 정밀 연삭 휠을 사용합니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 후속 처리 단계에 필요한 사양을 충족할 수 있습니다. 연삭 단계에 따라, 48 BTSW는 랩핑 프로세스를 사용하여 웨이퍼의 표면 마무리를 더욱 개선하고 전반적인 평평함을 향상시킵니다. 랩핑 단계 (lapping stage) 에는 연마제 슬러리 및 정밀 랩핑 플레이트를 사용하여 표면 불완전함을 제거하고 웨이퍼 표면에서 부드럽고 거울 같은 마무리를 달성합니다. 이 단계는 웨이퍼의 광학 (optical) 및 전기 (electrical) 특성을 향상시켜 고성능 반도체 장치에 적합합니다. 랩핑 프로세스가 완료되면 웨이퍼 (wafer) 가 연마 단계를 거쳐 최종 서피스 마무리 (finish) 를 달성하고 나머지 서피스 결함을 제거합니다. 연마 공정은 정밀 연마 패드 및 CMP (chemical-mechanical polishing) 기술을 사용하여 웨이퍼 표면을 매끄럽게하고 광학 품질을 향상시킵니다. 이 단계는 예외적 인 표면 매끄러움 (surface smoothness) 과 평탄함 (flatness) 을 가진 웨이퍼를 생산하는 데 필수적이며, 표면 거칠기와 반도체 장치의 성능에 영향을 줄 수있는 결함을 최소화합니다. SPEEDFAM 48 BTSW에는 고급 제어 시스템 및 자동화 기능이 장착되어 있어 정확한 프로세스 제어 및 재현성을 보장합니다. 이 장치는 고급 센서, 액추에이터, 모니터링 장치를 통합하여 프로세스 매개변수를 실시간으로 지속적으로 모니터링하고 조정하여 웨이퍼 (wafer) 처리 단계를 최적화하여 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 시스템의 사용자 친화적 인 인터페이스와 직관적인 소프트웨어를 통해 운영자는 다른 재료, 응용 프로그램에 대한 처리 레시피를 쉽게 프로그래밍하고 사용자 정의할 수 있습니다. 결론적으로, 48 BTSW는 반도체 제조에 탁월한 정밀도, 품질 및 신뢰성을 제공하는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 최첨단 기술, 다양한 기능, 자동화된 기능을 갖춘 이 자산은 반도체 업계의 까다로운 요구 사항을 충족하는 데 적합하며, 광범위한 애플리케이션의 고품질 웨이퍼 (wafer) 생산이 보장됩니다.
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