판매용 중고 SPEEDFAM 40B #9410062

SPEEDFAM 40B는 실리콘 (Silicon) 또는 기타 반도체 재료의 정밀 연삭 및 연마를 위해 설계된 다용도, 소형, 고정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 그것 은 여러 가지 "웨이퍼 '크기 와 여러 가지" 웨이퍼' 재료 를 처리 할 수 있다. 40B는 자동화된 컴퓨터 제어 시스템입니다. 이 장치에는 3 개의 축 (Y, Z 및 회전) 을 따라 정확하고 반복 가능한 동작을 통해 연삭 및 연마 영역 내에 웨이퍼를 배치 할 수있는 다중 축 테이블이 있습니다. 이렇게 하면 파퍼가 그라인딩 및 랩핑 도구에 정밀하게 배치됩니다. 이 기계는 또한 인라인 엣지 epi-polishing 기능을 통합하여 정확하고 균일 한 마무리를 제공합니다. SPEEDFAM 40B는 고유 한 '오픈 프레임' 설계를 사용하여 운영자는 '이중 프로세스 플랫폼' 접근 방식으로 촉진 된 웨이퍼 로딩 및 언로딩으로 그라인딩, 랩핑 및 연마에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 이를 통해 연산자는 2 개의 프로세스를 동시에 포지셔닝할 수 있으므로 더 빠른 운영 프로세스가 가능합니다. 40B는 비접촉 감지 (non-contact sensing) 기술의 최신 기술을 활용하여 연삭, 랩핑 및 연마 과정에서 웨이퍼의 두께와 평탄도를 측정합니다. 이 피드백 (feedback) 은 연삭 및 연마 패드의 위치를 부지런히 조정하여 완벽한 결과를 보장하는 데 사용됩니다. SPEEDFAM 40B 도구는 견고한 정밀도 스핀들 (spindle), 특수 표면 안정기 (surface stabilizer) 및 최적화된 내부 연삭 자산 덕분에 각 패스로 탁월한 정확도를 달성하도록 설계되었습니다. 그것 은 폭 넓은 "그라인딩 '," 랩핑', 연마 "패드 '를 갖추고 있으며, 이 모든 것 을 개별적 으로 혹은 일군 의" 패드' 로 제어 할 수 있다. 40B에는 음향 및 광학 경고 모델, 조절 가능한 속도 모터, 그라인딩 휠 가드, 전자 키 및 잠금 장치 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 따라서 운영자가 안전하게 보호되는 동시에 장비의 성능을 일관되게 유지할 수 있습니다. SPEEDFAM 40B 는 강력하고, 사용자 친화적이며, 생산적인 시스템으로, 표면과 두께가 뛰어나도록 설계되었습니다. 이 장치는 광범위한 재료를 정밀 연삭, 랩핑, 연마 (polishing) 할 수 있으며, 고품질 결과의 빠르고 효율적인 생산이 가능합니다.