판매용 중고 SPEEDFAM 36AWM #9294565
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SPEEDFAM 36AWM (SPEEDFAM 36AWM) 은 완전하게 자동화된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 광택 장비로, 고정밀 라이닝 및 텍스처 그라인딩 어플리케이션에서 최고의 품질과 생산성을 실현합니다. 이 시스템은 최대 12.7mm 두께와 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 모노 결정질 (mono-crystalline) 및 폴리 결정성 웨이퍼 (poly-crystalline wafer) 와 함께 작동합니다. 36AWM은 오염을 줄이고 안전을 보장하기 위해 완전히 밀폐 된 그라인딩 캐빈을 갖추고 있습니다. 듀얼 슬롯 설계는 하나의 웨이퍼 (wafer) 에 필요한 것과 동시에 2개의 웨이퍼를 효율적으로 처리합니다. 이 자동화 장치 (Automated Unit) 는 또한 높은 반복성을 달성하고 복잡성 및 운영자 의존성을 줄이기 위해 독특한 플로우 셀 (Flow Cell) 설계를 특징으로합니다. SPEEDFAM 36AWM은 고유 한 그라인딩 헤드를 사용하여 피드 레이트 증가, 정밀 그라인딩 결과, 비용 절감을 허용합니다. 36AWM의 자동 웨이퍼 처리 기계는 정확한 수유를 보장하며 수동 로딩을 제거합니다. 회전 플래튼 (platen) 과 테이블 (table) 은 웨이퍼의 양면을 따라 정확한 연삭 힘을 제공합니다. SPEEDFAM 36AWM은 또한 미네랄 기반 랩핑 및 연마 메커니즘을 특징으로하며, 이는 부드럽고 균일 한 처리를 보장하며 깊이 기반 변화를 제거하도록 설계되었습니다. 정밀 랩핑 머시닝 (precision lapping machined) 은 일관되고 광학적으로 부드러운 서피스를 달성하기 위해 도구에 통합되며, 필요한 경우 다이아몬드 연마제 랩핑 프로세스를 사용할 수 있습니다. 또한 36AWM 의 비전 (vision) 자산은 웨이퍼 서피스가 고객의 원하는 특성을 충족하도록 설계되었습니다. 모델의 고속 카메라 (High-speed camera) 는 각 처리 단계 후에 각 웨이퍼의 서피스를 자동으로 검사하여 장비가 다음 처리 단계를 자동으로 설정할 수 있습니다. 또한 SPEEDFAM 36AWM은 유지 보수 설계가 낮아 수리 및 교체가 용이합니다. 이 시스템의 모듈식 설계는 사용자 지정 (customized) 구성과 기존 시스템과의 신속한 통합을 통해 다운타임을 더욱 줄여줍니다. 전체적으로 36AWM은 얇고 질감 연삭 응용 프로그램을위한 강력하고 다양한 도구입니다. 놀라운 정확성과 반복성으로 한 번에 2 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 시력 장치는 웨이퍼 표면이 빠르고 쉽게 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. 손쉬운 유지 보수 및 모듈식 설계와 결합된 이 기능은 SPEEDFAM 36AWM (SPEEDFAM 36AWM) 이 고성능/생산성이 필요할 때 탁월한 선택임을 보장합니다.
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