판매용 중고 SPEEDFAM 36 SPAW #9280812
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SPEEDFAM 36 SPAW (Surface Process Advanced Wafer) 는 반도체 웨이퍼에서 미세한 표면 마무리를 달성하기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 효율성, 자동화, 비용 효율성을 높여주는 고유한 기능을 제공합니다. 연마 장치는 50mm 다이아몬드 그라인딩 휠 (grinding wheel) 을 특징으로하여 웨이퍼를 빠르고 정확하게 연마, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 이 바퀴는 12-24 마력 모터로 구동되며 최대 8 "크기의 웨이퍼를 연삭 할 수 있습니다. 그라인딩 휠에는 마이크로 스크래치를 최소로 줄일 수있는 "소프트 스톱 (soft-stops)" 기능이 장착되어 있습니다. SPEEDFAM 36SPAW에는 정밀 제어 연마 패드 헤드도 있습니다. 이 기능은 대용량 배치를 처리할 때에도 각 웨이퍼에서 일관되고 균일한 서피스 마무리를 보장합니다. 뛰어난 모션 컨트롤을 통해 기계는 최대 20 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 36 SPAW는 빠르고 쉬운 설치, 운영 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 직관적인 HMI (Human Machine Interface) 를 통해 특정 애플리케이션용 도구를 쉽게 구성할 수 있습니다. 또한, 고효율 환기 자산은 먼지 및 기타 오염 물질을 최소한으로 유지합니다. 이 모델에는 ASC (Automatic Speed Control) 및 VSP (Validation Equipment) 와 같은 고급 안전 측정도 포함되어 있습니다. ASC 시스템을 사용하면 연삭 (grinding) 작업이 시작되자마자 속도가 안전한 수준으로 감소합니다. 연삭이 진행되는 동안 최대 안전을 보장합니다. VSP 머신 (VSP Machine) 을 사용하면 일관성과 정확성을 보장하기 위해 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 작업을 검증할 수 있습니다. 36SPAW는 효율적이고, 자동화되고, 비용 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 자산으로, 다양한 어플리케이션에 적합한 우수한 결과를 제공합니다. 반도체 업계에서 선명화, 랩핑, 연마 등에 이상적이다.
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