판매용 중고 SPEEDFAM 36 SPAW #9087740
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SPEEDFAM 36 SPAW 장비는 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마를위한 최첨단 기계입니다. 전자동 (Fully Automated) 시스템은 마이크로메카니컬 (Micromechanical) 장치와 같은 박막 회로를 만들기 위해 정확하고 반복 가능한 조건을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 그라인딩 스테이션, 랩핑 스테이션, 폴란드 스테이션 및 컨트롤 스테이션의 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 그라인딩 스테이션 (grinding station) 에는 최대 3000 rpm의 고속 모터가 구동되는 수직 로터리 그라인딩 스핀들이 장착되어 있습니다. 조정 가능한 높이 테이블을 사용하면 연산자가 그라인드 (grind) 설정을 조정할 수 있습니다. 진공 "머신 '과 냉각 장치 는 연삭 과정 중 의 온도 를 제어 한다. 또한, 두 개의 별도의 그라인딩 휠이 있는데, 하나는 표면 스크랩용이고 다른 하나는 그라인딩용입니다. 랩핑 스테이션에는 샘플 랩핑을 위해 수평 회전 테이블이 장착되어 있습니다. Vacuum Optimized Perforated Sheet 랩핑 기술은 균일 한 마무리가 생성되도록 도와줍니다. 광택 스테이션은 고품질 광택을 제공하도록 설계되었습니다. 이 프로세스에는 조정 가능한 왕복 단계, 완전히 프로그래밍 가능한 Polisher Interface 및 마이크로 프로세서가 포함됩니다. 마이크로 컴퓨터는 연마 과정 전체를 모니터링하고 제어하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, Control Station 은 툴의 핵심이며, 최대 500 개의 프로그램을 저장 (편집 및 재사용 가능) 할 수 있습니다. 이 프로세스의 실시간 데이터와 그래픽 프레젠테이션을 제공하는 8.5 인치 LCD 디스플레이가 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 통해 프로세스를 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. SPEEDFAM 36SPAW (SPEEDFAM 36SPAW) 자산은 처리 시간을 단축시켜 운영 속도를 높이면서도 정확한 결과를 제공합니다. 또한 그라인딩 속도 (grinding speed), 압력 설정 (pressure settings), 랩핑 및 연마 매개변수 (lapping and polishing parameters) 와 같은 사용자 프로그래밍 가능 매개변수를 제공하여 프로세스의 유연성을 높일 수 있습니다. 이 모델에는 긴급 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 와 작동 감지 센서 (Operator Presence Sensor) 와 같은 안전 (Safety) 기능이 장착되어 있어 긴급 상황에서 프로세스를 중지할 수 있습니다. 36 SPAW 장비는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 용으로 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 기계이며, 최고 품질의 박막 시루트를 달성하기 위해 사용할 수 있습니다.
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