판매용 중고 SPEEDFAM 36 GPAW #9287337

SPEEDFAM 36 GPAW는 단일 클램프 세트 프로세스에서 플랫 및 각도 웨이퍼 모서리를 연삭, 랩핑 및 연마 할 수 있도록 설계된 완전하게 자동화 된 프로그래밍 가능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. SPEEDFAM 36GPAW는 고급 로봇 공학, 높은 정확도, 탁월한 프로세스 제어를 결합한 최첨단 시스템으로, 탁월한 신뢰성과 품질의 웨이퍼 에지 그라인딩, 랩핑, 연마 작업을 제공합니다. 36 GPAW 장치는 여러 모듈로 구성됩니다. 로봇 적재 클램프 세트 모듈은 자동 로봇 암 (robotic arm) 과 클램프 머신 (clamp machine) 으로 구성되어 연삭 휠에 웨이퍼 적재가 빠르고 정확합니다. 백 그라인딩 모듈 (back grinding module) 에는 웨이퍼 백 표면을 안정적으로 갈아 넣는 정밀 클램핑 도구 및 그라인딩 휠이 포함되어 있습니다. 모서리 그라인딩 모듈에는 자동 포지셔너 (automatic positioner) 가 포함되어 있어 그라인딩을 위해 웨이퍼를 정확하게 배치하고 모든 모서리가 정확히 접지, 랩핑 및 광택이 있는지 확인합니다. 랩핑/폴리싱 모듈은 고정밀도, 전자 제어, 로터리 테이블 및 조정 가능한 스피드 레일 자산을 사용하여 랩핑/폴리싱 플래터에 웨이퍼를 정확하게 배치합니다. 백그라인딩 및 랩핑/광택 모듈은 컨투어 매핑을 통합하여 최고의 에지 프로파일 품질을 제공합니다. 36GPAW에는 완성 된 제품의 품질을 확인하기 위해 자동 QC 검사 모델도 포함되어 있습니다. SPEEDFAM 36 GPAW는 프로세스 추적, SPC (statistical process control) 기능, 프로그래밍 가능한 작업 센터 및 직관적인 터치 스크린 제어 인터페이스를 포함한 여러 가지 추가 기능을 제공합니다. 반도체 장치 제작, MEMS/MOEM, 고급 웨이퍼 제조, 박막 기술 등 모든 반도체 처리 애플리케이션에 적합합니다. 이 장비는 정확성, 반복성, 처리량 (maximum throughput) 의 인상적인 조합으로 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. SPEEDFAM 36GPAW (SPEEDFAM 36GPAW) 에서 제공하는 고급 자동화를 통해 최고 수준의 품질에서 재현 가능한 결과를 얻을 수 있으며, 고급 프로세스는 대용량 제조 및 까다로운 생산 요구 사항에 대한 안정성과 반복성을 보장합니다.