판매용 중고 SPEEDFAM 36 GPAW #9278867
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ID: 9278867
빈티지: 2012
Polisher
Control voltage: 110V
Power: 220V, 3 Phase, 60 cycle
2012 vintage.
SPEEDFAM 36 GPAW는 웨이퍼 생산을위한 고성능 디스크 피니싱 머신 제공 업체 인 SPEEDFAM이 설계 한 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 기계는 반도체 및 기타 웨이퍼 모양의 부품의 고정밀도, 대용량 생산이 가능한 다재다능한 생산 시스템입니다. 이 장치에는 웨이퍼 표면을 < 1 나노 미터 (nanometer) 의 정확도로 갈고 닦는 "래퍼 (Lappers)" 로 알려진 일련의 회전 디스크가 포함되어 있습니다. 각 래퍼 (Lapper) 는 모든 범위의 드라이브 및 제어 매개변수로 독립적으로 작동하여 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 특정 응용 프로그램에 맞게 조정합니다. 기계 는 직경 이 8 "인치 '까지" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있으며, 여러 가지 속도 로 작동 하도록 구성 할 수 있다. SPEEDFAM 36GPAW (SPEEDFAM 36GPAW) 는 다른 시스템에 비해 표면 무결성, 평면성, 두께 균일성이 증가하여 최고 품질의 웨이퍼 서피스를 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 강력한 성능, 정확도, 속도의 독특한 조합을 활용하여 우수한 결과를 산출합니다. 이 기계에는 최고 품질의 제품의 그라인딩 각도 및 프로세스 매개변수를 제어하기 위한 견고하고 서보 제어 (rugged, servo-controlled) SPM이 포함되어 있습니다. 주요 자산 제어는 소프트웨어, 하드웨어, 통신 등 모든 시스템 기능의 사용자 인터페이스 (user interface) 및 관리자 역할을 하는 디지털 PC 기반 모델입니다. 장비 소프트웨어는 사용하기 쉽고 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 와 레시피 데이터베이스 (Recipe Database) 를 제공하여 웨이퍼 그라인딩 (Wafer Grinding), 랩 및 연마 작업을 효율적으로 설정하고 자동화할 수 있습니다. 36 GPAW는 고밀도 연삭, 랩핑, 연마 (polishing) 가 필요한 반도체 및 기타 업계에서 널리 사용되는 안정적이고 견고한 시스템입니다. 다양한 맞춤형 기능을 제공하며, 품질이 가장 높은 정확한 웨이퍼 (wafer) 구성요소를 생성합니다.
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