판매용 중고 SPEEDFAM 36 GPAW #293820364

SPEEDFAM 36 GPAW
ID: 293820364
Single side polisher.
SPEEDFAM 36 GPAW는 높은 정밀도 및 표면 마감이있는 반도체 웨이퍼 및 하드 디스크를 생산하는 데 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 생산성을 최적화하고 성능을 극대화하는 다양한 기능을 제공합니다. 이 장치에는 25mm ~ 300mm의 광범위한 웨이퍼 크기를 수용 할 수있는 36 인치 그라인딩 및 랩핑 휠이 포함되어 있습니다. 이 휠의 처리 속도는 30 ~ 120 RPM으로, 크기가 다른 웨이퍼 제품의 처리량과 정확도가 향상됩니다. 바퀴에는 효율성 향상을 위해 물 재순환기가 장착되어 있습니다. 연삭, 랩핑 및 연마 도구 (grinding, lapping and polishing tool) 는 로봇 암을 사용하여 다양한 웨이퍼 크기에 대해 조정 가능한 적재 높이가있는 웨이퍼를 자동으로 적재합니다. 로봇 암은 또한 최적의 프로세스 제어를 위해 웨이퍼를 정확하게 배치 할 수 있습니다. SPEEDFAM 36GPAW는 +/- 4 미크론의 정확도로 일관된 고도 연삭, 랩핑 및 연마 정확도를 유지합니다. 에셋에는 휠 속도, 사이클 시간, 그라인딩/랩핑 압력, 재료 제거 속도 (material removal rate) 와 같은 모든 프로세스 매개변수가 표시되는 터치 스크린 조작자 제어판이 장착되어 있습니다. 즉, 프로세스의 불확실성 또는 변경이 발생할 경우 쉽게 조정하고, 신속하게 연산자 (Quick Operator) 응답을 수행할 수 있습니다. 안전 기능은 36 개의 GPAW (예: 비상 정지 버튼 및 바퀴가 과부하 된 경우 자동 차단) 에도 포함됩니다. 36GPAW는 웨퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 연산자에게 안심할 수 있으며, 높은 품질과 정밀한 결과를 제공하며, 최소한의 인건과 최대 프로세스 제어를 통해 프로세스를 쉽게 사용할 수 있습니다. 고급 기능을 갖춘 SPEEDFAM 36 GPAW는 높은 정확도와 정확성을 필요로 하는 모든 생산 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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