판매용 중고 SPEEDFAM 36 GPAW T0564 #293669498
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SPEEDFAM 36 GPAW T0564 Wafer Grinding, Lapping & Polishing 장비는 Semiconductor Industry의 처리 요구를 충족하도록 설계된 다용도 고성능 작업셀입니다. 이 시스템은 3 개의 독립적 인 처리 단계로 구성되며, 모두 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 정확하게 조정 및 제어 할 수 있습니다. 첫 번째 단계 는 "그라인딩 '과정 인데, 고속 선형" 모우터' 에 의하여 구동 되므로, 폭 넓은 연마제 와 도구 를 정확 한 속도 와 성능 으로 사용 할 수 있다. 두 번째 단계 는 "랩핑 '인데, 이것 은 기판 의 표면 을 재빨리 감싸고, 평평 하게 하고, 연마 하는" 미크론' 공차 를 1 "미크론 '의 공차 로 만드는 장치 안 에 내장 된 독특 하고 연마 된 고리 공구 를 사용 한다. 가공의 세 번째이자 마지막 단계는 연마 (polishing) 이며, 기판 표면을 가로 질러 빠르게 움직이는 연마 (polishing) 헤드를 사용하여 균일하고 반복 가능한 마무리를 만듭니다. 36 GPAW T0564 머신에는 내부 (in-situ) 작동 기능도 포함되어 있으며, 기기에서 제거하지 않고 기판을 처리 및 검사하여 비용 및 생산 중단 시간을 줄입니다. 이 툴에는 다양한 데이터 처리 및 분석 (analysis) 기능을 제공하는 포괄적인 제어 자산 (control asset) 이 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 서피스 마무리 (surface finish) 의 품질을 평가하고 분석할 수 있습니다. SPEEDFAM 36 GPAW T0564 모델은 최고 품질의 최종 결과를 제공하기 위해 설계된 매우 고급 작업셀로, 최신 반도체 제작에 적합합니다.
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