판매용 중고 SPEEDFAM 36 DPAW #9372689

SPEEDFAM 36 DPAW는 오늘날의 초박형 웨이퍼 제조를 위해 특별히 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 (DPAW) 시스템입니다. 이 기계는 직경 최대 12 인치 (305mm) 의 와퍼를 갈아서 랩하는 데 사용되며 두께는 최대 10 m입니다. 8 피스 척, 듀얼 그라인딩 및 랩핑 모터, 디지털 황삭 및 마무리 속도 컨트롤이 특징입니다. 36 DPAW에는 APC (Active Process Control), Adaptive Lapping 및 Precision Control System 기술도 있습니다. 이러한 모든 기술은 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 자동으로 유지 및 최적화하고 제품 특성, 프로세스 조건의 변화에 신속하게 대응하도록 설계되었습니다. 이를 통해 뛰어난 처리 결과, 균일 한 웨이퍼 및 더 깨끗한 직장이 보장됩니다. SPEEDFAM 36 DPAW에는 한 번에 최대 30 개의 샘플을 처리 할 수있는 샘플 챔버도 포함되어 있습니다. 샘플은 챔버에 자동으로 공급되고 연마 용 머시닝 (machining) 위치로 이동합니다. 이 기계에는 자동 프로세스 제어를위한 PLC (programmable logic controller), 처리 중 오염되지 않도록 하기 위한 사전 진공 챔버, 에지 설정 및 기타 작업을위한 온보드 액체 필름 폴리셔가 있습니다. 이 기계는 고급 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 제작되었으며 높은 부하를 견딜 수 있습니다. 회전 컴포넌트는 정밀 볼 베어링 (precision ball bearing) 에 장착되며 모든 모터는 최대 안정성 및 소음 감소를 위해 모터 냉각 캐비닛에 보관됩니다. 이 기계는 또한 터치스크린 제어판 (touchscreen control panel) 을 장착하여 프로세스 매개변수를 쉽고 빠르게 설정할 수 있습니다. 36 DPAW는 뛰어난 웨이퍼 품질을 제공 할 수있는 초정밀 기계입니다. 최고 수준의 정확성, 반복성, 품질을 보장하도록 설계된 고급 프로세스 (advanced process) 기술을 갖추고 있습니다. 소형 폼 팩터 (Form-Factor) 를 사용하여 기계는 공간을 거의 차지하지 않으며 설치 및 유지 보수가 쉽습니다.