판매용 중고 SPEEDFAM 36 DPAW #9294574

SPEEDFAM 36 DPAW (양면 행성 연마 휠) 는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 다양한 반도체 응용 분야에 대한 고품질 표면 마감과 정확성을 제공합니다. 이 시스템은 최소한의 운영자 개입 (operator intervention) 을 통해 처리량 및 최소 프로세스 시간을 제공하도록 설계되었습니다. 36 DPAW에는 4 개의 다른 연마/연삭 판을 수용 할 수있는 3 개의 독립적 인 구동 휠 세트를 갖춘 독특한 행성 연삭/랩핑 및 연마 헤드가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 다중 좌표 및/또는 다중 스텝 랩핑 및 연마 작업을 수행할 수 있습니다. 3 개의 독립적으로 조절 가능한 휠 세트는 명목상 작동 범위가 +/-25 "m이며, 높은 반복성과 정확성을 보장하기 위해 서보 모터 유닛을 통해 구동됩니다. 이 기계에는 고해상도 비디오 툴이 장착되어 있어 연삭/랩핑 (grinding/lapping) 및 연마 과정을 실시간으로 정확하게 볼 수 있습니다. 이 피쳐를 사용하면 프로세스 매개변수를 검사하고 가공소재 서피스를 동적으로 모니터링하여 프로세스 매개변수 (process parameter) 의 정확한 측정 및 최적화를 수행할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 무인 운영을 위해 프로그래밍 된 State of the Art CNC 제어 모델을 특징으로하며, 생산 응용 프로그램을위한 이상적인 웨이퍼 처리 장비입니다. SPEEDFAM 36 DPAW는 처리량을 극대화하고 프로세스 시간을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 프로그래밍 가능한 스핀들 속도를 사용하면 다양한 재료에서 고정밀 연삭/랩 (grinding/lapping) 및 연마 작업이 가능합니다. 이 시스템은 건조 (dry) 환경과 습식 (wet) 환경 모두에서 실행할 수 있으므로 다양한 프로세스에 적합합니다. 높은 수준의 프로세스 반복성과 정확성을 요구하는 사람들을 위해 36 개의 DPAW (DPAW) 는 특정 연삭/랩핑 및 연마 작업에 대해 설정할 수있는 광범위한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 이 장치는 고해상도 광학 랩핑 (optical lapping), 연마 (polishing), 고정밀 그라인딩 (grinding) 작업과 같은 정교한 절차가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. SPEEDFAM 36 DPAW는 안정적이고 반복 가능한 작동을 제공하도록 설계되어, 고급 웨이퍼 처리에 이상적인 제품입니다. 견고한 구성과 뛰어난 프로세스 모니터링 및 제어 시스템 (CRS) 은 완성된 가공소재의 높은 정확도와 고품질 표면 마무리를 보장합니다. 또한, 이 기계는 연삭/랩핑 및 연마 프로세스를 보다 정밀하게 제어하고 모니터링할 수 있는 완전 폐쇄 루프 (fully closed loop) 도구 (옵션) 를 제공합니다.