판매용 중고 SPEEDFAM 36 DPAW #9294573

SPEEDFAM 36 DPAW는 생산 수준의 정밀도를 위해 설계된 혁신적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 정확한 서피스 마무리 (surface finish) 와 높은 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 다양한 웨이퍼 재료에서 일관성 있는 고품질 (high-quality) 서피스를 달성하는 데 적합합니다. 이 장치는 소프트 스타트 36 인치 연삭/연마 헤드, 랩핑/연마 장치, 랩핑/연마 헤드, 웨이퍼 트레이/장착 암 및 재순환 여과 기의 여러 필수 구성 요소로 구성됩니다. 연삭/광택 머리 는 정밀 하게 조작 된 "다이아몬드 벨트 '와 정교 한 연마 과정 을 사용 하여 여러 가지" 웨이퍼' 재료 에서 가장 정밀 한 표면 을 마친다. 기존 AC 모터보다 더 일관된 속도를 제공하는 다이렉트 드라이브 모터를 사용합니다. 또한 소프트 스타트 기능으로 작업 간의 다운타임을 줄일 수 있습니다. 랩핑/연마 장치에는 베이스의 회전과 이동을 정확하게 제어하는 2 축 서보 공구가 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼 서피스의 모서리 및 코너 점에서 안정적이고 높은 정밀도 랩핑 (lapping) 이 가능합니다. 천공 된 "벨트 '는 쉽게 여러 가지 표면 불규칙성 을 연삭 하고 제거 할 수 있다. 또한, 랩핑/연마 헤드는 다른 기계보다 가속도가 높아, 빠르고, 더 신뢰할 수있는 성능을 제공합니다. 웨이퍼 트레이/마운팅 암을 사용하면 각 프로세스 단계에서 웨이퍼를 빠르게 장착 및 제거할 수 있습니다. 정확한 위치 정확성을 통해 각 작업을 세밀하게 조정하고 고르지 않은 서피스를 베이에 유지하십시오. 또한 스토리지 용량이 내장되어 있어 다양한 wafer 유형을 보호할 수 있습니다. 마지막으로, 재순환 여과 자산 (recirculating filtration asset) 은 프로세스가 먼지와 다른 오염으로부터 지속적으로 보호되도록 보장합니다. 특정 요구 사항을 충족하도록 필터레이션 모델을 조정할 수 있으며, 다양한 응용 프로그램 (application) 을 사용할 수 있습니다. 매우 정확하고 신뢰할 수있는 36 개의 DPAW (DPAW) 는 다른 시스템에 비해 빠른 연삭 및 연마 시간을 제공 할 수 있습니다. 정확한 표면 마감, 처리율, 종합적인 보호 기능을 갖춘 SPEEDFAM 36 DPAW는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 작업에 적합한 선택입니다.