판매용 중고 SPEEDFAM 36 DPAW #9287360

SPEEDFAM 36 DPAW는 SPEEDFAM이 설계하고 SPEEDFAM Precision Technologies에서 제조 한 완전 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 유전체, 자기, 부서지기 및 세라믹 재료에 초마감 아파트와 각도를 생성 할 수 있습니다. 36 DPAW는 웨이퍼 크기의 조각을 처리하도록 설계된 진동 테이블 시스템입니다. 이 장치는 스트로크 기반 기술을 사용하여 높은 프로세스 정확도와 마감 품질을 제공합니다. 진동 테이블은 2 단계의 절단과 1 단계의 연마 단계를 통해 특허를받은 "Z- 듀티" 사이클에서 작동합니다. 연마 과정 전반에 걸쳐 안정적인 프로세스 조건을 제공하여 균일 한 프로세스 결과를 보장합니다. SPEEDFAM 36 DPAW의 디자인은 가공소재 테이블의 정확한 위치를위한 인덱스 홀딩 척 (indexed holding chuck) 과 연삭, 랩 및 연마를위한 3 개의 개별 작업 스테이션으로 구성됩니다. 홀딩 척 (holding chuck) 은 평평한 모양과 각진 모양으로 웨이퍼 크기의 기판 조각을 수용하도록 설계되었습니다. 연삭 스테이션은 기판에서 재료를 자르고 제거하기 위해 기판 표면에 다이아몬드 (diamond) 또는 CBN (Cubic Boron Nitride) 과 같은 연삭 매체를 적용합니다. 랩핑 스테이션은 연삭 스테이션을 따르고 기판에서 재료를 추가 절단 및 제거하기 위해 기판에 실리콘 카바이드 (SiC) (실리콘 카바이드 (Silicon Carbide)) 와 다이아몬드 연마제를 조합하여 적용합니다. 마지막으로, 연마 스테이션은 기판에 솔루션 (예: 알루미나) 을 적용하여 원하는 표면 마무리로 가져옵니다. 36 DPAW는 또한 원격 제어, 운영자 친화적 GUI를 갖추고 있으며, 이 GUI는 운영자에게 운영 진단 및 프로세스 모니터링을 제공합니다. 또한, 기계는 매우 정확한 온도 조절 장치를 제공하여 온도 안정 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 제공합니다. 온도 제어 장치는 또한 웨이퍼 셋업 (wafer setup) 을 모니터링하고 모따기 조건을 처리할 수 있습니다. 전반적으로 SPEEDFAM 36 DPAW는 웨이퍼 크기의 정확한 머시닝 및 마이크로 패브릭을 위해 설계된 효율적이고 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 온도제어 (Temperature Control) 및 모니터링 (Monitoring) 기능을 비롯하여 효율적인 프로세스 주기를 위한 지능형 기능이 내장된 고도로 자동화된 자산입니다.