판매용 중고 SPEEDFAM 32BAW #9358880

SPEEDFAM 32BAW는 정확한 표면 무결성 및 마무리를 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 주 공정 장치, 제어 컴퓨터, 연삭 및 연마 도구 라이브러리로 구성되어 있습니다. 공정 단위 (process unit) 는 가변 매개변수가있는 여러 연마 단계를 정확하게 적용하여 뛰어난 서피스 마무리 및 고수율 성능을 보장 할 수 있습니다. 기계는 단일 공정 웨이퍼에서 동시에 양면을 연삭 할 수 있습니다. 시스템의 기본 프레임 (base frame) 은 고강도 강철로 만들어졌으며, 긴 서비스 수명과 원활한 작동을 위해 설계되었습니다. 연삭, 랩핑 및 연마 세그먼트는 독특한 회전 연삭 및 연마 헤드로 구성되며, 최대 6,000 RPM의 다양한 속도로 회전 할 수 있습니다. 이 장치에는 자동, 프로그래밍 가능, 나선형 및 프로브 옵션이 포함됩니다. 랩핑 헤드에는 연마 작업의 각 단계에 대한 조정 가능한 로드 설정과 압력 레벨 (pressure level) 이 있습니다. 이 장치에는 랩핑 작업을위한 내장 진공 기계도 포함되어 있습니다. 고해상도 CCD 카메라는 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스 전후에 웨이퍼를 자세히 시각적으로 검사합니다. 자동 진행 중 웨이퍼 크기 모니터는 오버/언더 랩핑을 제거합니다. 제어 컴퓨터는 레시피를 저장하고, 전체 프로세스를 모니터링하고, 제어하며, 사용자에게 필요한 모든 정보를 제공합니다. 또한 프로그래밍 작업 매개변수, 레시피 저장, 프로덕션 프로세스 모니터링, 프로덕션 데이터 수집에도 사용됩니다. 랩핑 (lapping) 라이브러리는 대부분의 웨이퍼, 크기, 다듬기 어플리케이션에 적합한 다양한 공급업체의 다양한 랩핑 도구를 제공합니다. 32BAW는 강력하고 유연한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 도구이며, 고수율, 정확한 웨이퍼 처리를 위해 탁월한 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공합니다. 특유의 특징과 견고한 설계로 이 자산은 품질이 저하되지 않고 대량의 웨이퍼 (wafer) 생산을 위한 이상적인 선택입니다.