판매용 중고 SPEEDFAM 32 #293797188
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SPEEDFAM 32 (SPEEDFAM 32) 는 단일 또는 다중 반도체 또는 전자 부품의 양쪽에서 빠른 속도로 정교하고 고품질 평평한 표면을 생산하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 동일한 그라인딩 공구로 서로 다른 유형의 서피스를 그라인딩, 랩, 폴란드화할 수있는 두 세트의 교환 가능한 그라인딩 (grinding), 연마 (polishing) 및 랩핑 (lapping) 모듈을 지원하는 모듈식 플랫폼이 있습니다. 또한 그라인딩 (grinding) 및 연마 기계 (polishing machine) 가 빠른 속도로 웨이퍼를 정확하게 연마, 연마 및 랩핑 할 수있는 특허를받은 드라이브 헤드가 포함되어 있습니다. 32 개 장치는 많은 고급 컴포넌트 (advanced component) 를 사용하여 웨이퍼의 연삭 및 랩핑에서 높은 수준의 정밀도를 달성합니다. 세 가지 주요 구성 요소에는 모터 드라이브 기계, 연삭/연마 헤드 부착 및 광학 제어 장치 (optical control unit) 가 포함됩니다. 모터 드라이브 도구 (motor drive tool) 는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마에 필요한 정확하고 반복 가능한 움직임을 제공 할 수 있습니다. 연삭/연마 헤드 (grinding/polishing head) 부착물은 연삭 및 연마 디스크를 광학 제어 장치와 완벽하게 정렬하여 효율성을 극대화하도록 설계되었습니다. 광학 제어 장치 (Optical Control Unit) 는 연삭/연마 과정에서 연삭/연마 디스크의 속도, 위치 및 프로파일을 모니터링하고 조정하는 데 사용됩니다. 또한 SPEEDFAM 32에는 다양한 연삭/연마 디스크, 연마/랩핑 화합물, 유체 침전물 및 웨이퍼 연삭 및 연마 공정을 최적화하는 진공 자산이 포함되어 있습니다. 이러한 컴포넌트를 사용하면 매우 매끄럽거나 고도로 질감 있는 서피스의 정밀 연삭 및 연마가 가능합니다. 또한 32 개의 모델에는 자동 오류 수정 기술 (Automated Error Correction Technique) 이 포함되어 있으며, 연삭/연마 오류를 모니터링하고 보상하며, 각 및 모든 반복으로 표면을 매우 정확하게 연삭하고 연마 할 수 있습니다. SPEEDFAM 32 장비는 벌금 (예: TCO (총소유비용) 절감, 반복 가능성, 처리량) 을 줄이는 과정에서 많은 이점을 제공합니다. 자동 오류 수정, 정확한 랩핑/연마 디스크, 연마/랩핑 화합물, 대기 제어 유체의 조합을 사용하면 고속 (high speed) 에서 높은 정확도 표면을 생성 할 수 있습니다. 견고한 디자인과 높은 정밀도 수준의 32 개 유닛을 다양한 그라인딩 (grinding) 및 연마 (polishing) 어플리케이션에 사용할 수 있습니다.
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