판매용 중고 SPEEDFAM 32 #293771654

SPEEDFAM 32는 SPEEDFAM Corporation의 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 다양한 종류의 웨이퍼를 연삭, 랩핑, 연마 할 수있는 완벽한 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 이중 디스크 연마 챔버와 360도 회전할 수있는 2 개의 스핀들 헤드가 있습니다. 32 개의 강력한 모터는 최대 800 rpm까지 연삭 속도를 제공 할 수 있으며, 이중 디스크 연마 휠은 최대 2000 rpm의 출력을 처리 할 수 있습니다. 또한, 그라인딩 휠은 최대 3mm의 깊이에 도달 할 수 있으며 여전히 100nm ~ 2.5 m의 황삭 범위를 유지합니다. 이 장치에는 자동 제어 장치 (Automated Control Unit) 가 장착되어 있으며, 이를 통해 그라인드 압력, 휠 속도 및 사이클 시간을 조정할 수 있습니다. 또한 고성능 냉각기 (Cooling Machine) 를 갖추고 있어 공구가 작업 내내 온도를 일관되게 유지하여 결과를 극대화할 수 있습니다. 또한, 먼지가 단단한 밀봉 자산이 있으며, 작동 중에 먼지와 외국 입자가 모델에 들어가지 못하도록 설계되었습니다. SPEEDFAM 32는 최소한의 이물질 생성을 통해 고정밀 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 균일 한 연삭 및 랩핑 (lapping) 을 보장하기 위해 장비는 연마 과정과 연마 과정을 분리하는 2 단계 공정을 사용합니다. 연삭 과정 동안, 고정밀 연삭 휠 (high-precision grinding wheel) 은 연마 휠 (polishing wheel) 이 연삭 과정에서 생성 된 잉여 물질 또는 불규칙성을 부드럽게 제거하기 전에 웨이퍼 표면에서 재료를 제거합니다. 연삭 및 연마 공정을 더욱 최적화하기 위해 32 개는 특허를받은 다이아몬드 제트 휠 (diamond jet wheel) 과 같은 고급 기술을 제공하여 매우 매끄러운 표면을 만들 수 있습니다. 또한, 가변 회전 시퀀스 및 가변 주파수 컨트롤러로 정밀 연마 (precision polishing) 를 수행 할 수도 있습니다. 마지막으로, 시스템은 작동 및 유지 관리도 쉽습니다. 고급 터치 스크린 인터페이스 (Advanced Touch Screen Interface) 를 사용하면 미리 프로그래밍된 프로세스를 선택하고 프로세스 결과를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 또한 SPEEDFAM 코퍼레이션 (SPEEDFAM Corporation) 은 고객에게 전문 교육 프로그램을 제공하여 장치의 기능을 신속하게 배우고 이해할 수 있습니다.