판매용 중고 SPEEDFAM 32 SPAW #9257661

SPEEDFAM 32 SPAW
ID: 9257661
빈티지: 2002
Single sided polisher 2002 vintage.
SPEEDFAM 32 SPAW는 20mm에서 260mm 크기의 웨이퍼 기판을 연마 및 연마 할 수 있도록 설계된 다기능 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 저렴한 고속 처리량 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 32 SPAW는 3 상 연삭 헤드와 통합 연마 장치로 구성됩니다. 그라인딩 헤드 (grinding head) 에는 강력한 동기 모터 (synchronous motor) 가 장착되어 있어 다양한 절단 속도와 고성능 그라인딩 및 랩핑이 가능합니다. 통합 연마 장치는 연속 또는 블록 별 프로세스 자동화를 허용하는 2 개의 브러시리스 DC 모터로 구동됩니다. 완전한 연삭 및 연마 프로세스는 정교한 소프트웨어 제어 시스템 인 PHEELS를 기반으로합니다. SPEEDFAM 32 SPAW는 9 축 운동학적 테이블을 특징으로하며, 반복성이 높고 습하고 건조한 정밀도로 빠르고 정확한 분쇄가 가능합니다. 실리콘, 갈륨 비소, 실리콘 카바이드, 질화 알루미늄 기질과 같은 반도체 웨이퍼 기질에서 연삭 및 연마 공정을 수행 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 특별한 스핀들 장착 디스크 홀더 (spindle-mounted disk holder) 가 장착되어 있어 불필요한 마모와 눈물 없이 기계에 웨이퍼를 배치하여 기계의 비용 효율성을 향상시킵니다. 32 SPAW는 생산 및 서비스 수명의 신뢰성을 보장하는 고급 구성 요소를 사용하여 설계되었습니다. 여기에는 자동 공구 변경, 자동 휠 드레싱, 사전 프로그래밍 된 그라인딩 및 연마 프로파일과 같은 여러 안전 기능이 포함됩니다. SPEEDFAM 32 SPAW는 또한 정교한 제어 도구와 통합되어 자동 패스파인딩 (pathfinding) 및 공구 로딩 (tool loading) 으로 인해 설치가 빨라지고 닫힌 루프 제어 자산을 통해 프로세스 일관성이 향상됩니다. 전반적으로, 32 SPAW는 광범위한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 어플리케이션에 적합한 안정적이고, 강력하며, 비용 효율적인 모델입니다. 고성능, 정확성, 유연성, 반복성을 제공하므로 대용량 제조 환경에 이상적인 툴입니다.
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