판매용 중고 SPEEDFAM 32 BTAW #9366202

SPEEDFAM 32 BTAW는 SPEEDFAM의 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 32 인치 웨이퍼 용량으로, 기계는 최고 수준의 정확성과 반복 성에서 동시 연삭 및 연마 기능을 제공합니다. 이 시스템은 수동/자동화된 단면 (single-side) 작업과 양면 (dual-side) 작업을 모두 제공하여 고성능 랩핑 및 웨이퍼 연마 기능을 제공합니다. SPEEDFAM 32BTAW는 생산 요구 사항을 충족시킬 수 있는 최대 범용성을 제공하는 3축 장치입니다. 두 개의 독립적 인 휠 헤드를 사용하여 기계는 여러 프로젝트를 동시에 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고정밀 조절식 테이블 및 랩핑 플레이트를 통해 유연성을 더하여 높은 정확도 포지셔닝 (positioning) 및 포지셔닝 반복 기능을 제공합니다. 또한 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 측면 제어, 프로세스 내 측정 및 서피스 제어 중에서 선택할 수 있습니다. 이 도구에는 온도 조절, 전력 관리, 연삭/연마 압력, 슬러리 관리 등의 다양한 프로세스 변수가 있습니다. 또한, 다양한 세그먼트 랩핑 플레이트 (segmented lapping plate) 를 제공합니다. 높은 샘플링 속도 및 실시간 데이터 획득과 결합하여 프로세스 변수 제어가 용이합니다. 32 BTAW에는 특수 사이클 종료 안전 장치 (End-of-cycle Safety Device) 가 장착되어 있어 연마 판의 우발적 전환과 적절한 시동 처리 조건을 보장하는 자동 안전 연동 자산 (Automatic Safety Interlock Asset) 을 방지합니다. 이 모델을 사용하면, 교환 가능한 플레이트 컨셉 (plate concept) 을 사용하기 때문에 빠르고 쉬운 셋업 변경을 통해 쉽게 액세스할 수 있습니다. 따라서 다른 웨이퍼 사양에 적응할 필요가 없습니다. 교환 가능한 판 개념은 또한 휠 소비, 도량형 및 기타 비용을 줄일 수 있습니다. 품질 및 성능 수준을 보장하기 위해 32BTAW 그라인더/폴리셔 (grinder/polisher) 장비에는 그라인딩 휠 및 랩핑 플레이트의 상대 위치를 측정하고 조정하기 위해 교정 판이 공급됩니다. 또한, 이 시스템은 모든 유형의 냉각 및 공기 베어링 시스템과도 완벽하게 호환됩니다. SPEEDFAM 32 BTAW 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치는 최고 수준의 정확도, 반복 가능성, 유연성을 제공하여, 보다 비용 효율적인 프로세스와 보다 효율적인 생산성을 위해 프로세스 제어와 더 나은 웨이퍼 생산성을 제공합니다.