판매용 중고 SPEEDFAM 32 B #9204028

SPEEDFAM 32 B는 높은 정확도와 반복성이 필요한 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 장비입니다. 이 시스템은 직경이 최대 8 인치, 두께가 최대 0.125mm인 웨이퍼를 사용할 수 있으므로 반도체 웨이퍼, 플립 칩 및 쿼츠 크리스탈 웨이퍼 (Quartz Crystal Wafers) 의 정밀 머시닝에 적합합니다. SPEEDFAM 32B 장치는 정밀 그라인딩 휠에 연결된 단일 축 모터로 구성됩니다. 그라인딩 휠은 큐빅 보론 니트 라이드 (Cubic Boron Nitride, CBN) 또는 다이아몬드 (Diamond) 와 같은 슈퍼 연마 재료로 만들어져 웨이퍼 표면을 정확하게 갈고, 랩하고, 연마하는 데 필요한 절단 동작을 제공합니다. 절삭 동력 은 "모터 '와 연삭" 휠' 에 의하여 "웨이퍼 '표면 으로 전달 된다. 절전 전원은 조절 가능하며, 기계는 최고 10,000 rpm의 속도로 작동 할 수 있습니다. 이 도구에는 중앙 맨드렐 척 (Mandrel chuck) 이 장착되어 있으며, 이는 진공 척 플레이트 (Vacuum Chuck Plate) 옵션의 장착 표면 역할을합니다. 진공 척 플레이트 (Vacuum Chuck Plate) 는 머시닝 과정에서 웨이퍼를 안전하게 고정시키는 데 사용되며, 표면 마무리가 단단합니다. 또한, 연삭 "휠 '은 중앙" 맨드렐' 척 을 사용 하여 "웨이퍼 '표면 에 정확 히 중심 을 맞출 수 있다. 그런 다음 그라인딩 휠에는 마모, 온도 상승, 웨이퍼의 열 변형을 줄이는 데 도움이되는 가압 오일 안개 (pressurized oil-mist) 자산이 장착됩니다. 이 모델은 또한 웨이퍼 (wafer) 표면에 절삭력을 균등하게 분배하여 머시닝 결과의 정밀성과 반복성을 보장합니다. 32 B에는 그라인딩 휠 회전 방향 제어 스위치 (grinding wheel rotation direction control switch) 도 장착되어 있으며, 이를 통해 그라인딩 휠의 회전 방향을 세밀하게 조정하여 그라인딩 성능을 향상시킬 수 있습니다. 그라인딩 휠 (grinding wheel) 은 시계 방향 또는 시계 반대 방향으로 회전하도록 설정할 수 있으며, 가공과 관련하여 사용자에게 추가 유연성을 제공합니다. 기계는 선택적 스핀들 첨부를 사용하여 외부 웨이퍼를 처리 할 수도 있습니다. 이를 통해 사용자는 중앙 만드렐 척 (mandrel chuck) 과 호환되지 않는 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 마지막으로 먼지 수집은 장비의 디자인에 통합됩니다. 이것 은 운영 환경 을 깨끗 하게 유지 하는 데 도움 이 되며, 원치 않는 부스러기 가 "그라인딩 휠 '에 들어가는 것 을 막는 데 도움 이 된다. 이 시스템은 또한 통합 냉각수 (coolant unit) 를 갖추고 있으며, 이는 휠 마모를 줄이는 데 도움이됩니다.