판매용 중고 SPEEDFAM 30B-5P-2M-N #9410061

SPEEDFAM 30B-5P-2M-N (SPEEDFAM 30B-5P-2M-N) 은 다양한 반도체 재료에서 평면 및 평행 표면의 생산을위한 매우 정확하고 안정적인 턴키 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 내장 PoliPol 추출기와 통합 스크러빙/평가 스테이션이 장착 된 5 축 여행 구성이 있습니다. 이 장치에는 단일 180도 색인 정지 (indexing stop) 가있는 회전 테이블이 포함되어 있으며, 위치 안정성을 제공하고, 연산자가 빠르게 공구를 변경할 수 있습니다. 3 개의 공정 챔버 (연삭 2 개 및 연마 1 개) 에는 150kg 용량의 각 부하 잠금 장치와 고유 한 크기 평가 스테이션을 갖춘 2 개의 부하 잠금 장치가 장착되어 있습니다. 연삭 챔버에는 2 개의 75 인치가 포함되어 있습니다. 3 턱 척과 2 개의 3 I.D. 최대 8500 rpm의 단방향 전류 속도를 낼 수있는 분쇄 스핀들. 스핀들 (spindles) 은 연삭 과정 내내 웨이퍼의 상단 표면을 가로 질러 움직이는 캔틸레버 (cantilevered) 전동 엔드 이펙터 (end-effector) 에 장착됩니다. 스핀들 (spindles) 은 각각 진동을 줄이는 메커니즘을위한 브러시리스 모터 (brushless motor) 와 가변 스핀들 속도에 대한 스틸리스 속도 제어 (stepless speed control) 를 특징으로합니다. 연마 실 에는 "웨이퍼 '뒷면 의 일부 를 연마 하기 위한 진공" 척' 이 들어 있다. 스핀들 (spindle) 은 샘플에서 모터로의 열 전달을 줄이기 위해 터렛 캐스트 (turret cast) 가있는 브러시리스 (brushless) 토크 모터입니다. "터렛 '은 바닥 에서부터 조정 할 수 있으며, 연산자 는 속도 를 미세 하게 조정 할 수 있다. 30B-5P-2M-N (30B-5P-2M-N) 은 연삭 및 연마 공정의 그래픽 설정, 디스플레이 및 데이터 분석을 제공하는, 사용자 친화적 인 고급 연삭 및 연마 기계입니다. 이 도구에는 자동 시작/자동 중지 작업뿐만 아니라 매개변수 정보 save/retrieval 기능도 포함되어 있습니다. 다양한 속도, 크기 및 구성을 갖춘 SPEEDFAM 30B-5P-2M-N은 광범위한 산업 및 연구 목적을위한 완벽한 자산입니다.