판매용 중고 SPEEDFAM 2B-9L #9276665

SPEEDFAM 2B-9L 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장비는 웨이퍼 기판을 처리하기위한 턴키 솔루션입니다. 이 시스템을 사용하면 놀라운 wafer 간 균일성을 달성할 수 있으며, 또한 우수한 프로세스 반복성을 보장할 수 있습니다. 2B-9L 장치의 핵심 구성 요소는 2 개의 개별 인라인 처리 스테이션입니다. 첫 번째 스테이션 인 "Grinding" 에는 공압 웨이퍼 그라인딩을위한 2 개의 독립적으로 제어 된 (X 및 Y) 축 기계가 포함되어 있습니다. 이 "스테이션 '에는" 그라인딩' 단계 압력 을 정확 하게 반복 하여 조정 할 수 있는 진동 "컨베이어 '가 들어 있어 어떤 형태 의" 웨이퍼' 든 정확 하게 갈아낼 수 있다. 다음 스테이션은 "랩핑" 스테이션입니다. 이곳은 웨이퍼를 고정하고 회전하는 광택 매체에 대해 누르는 곳입니다. 이 스테이션에는 압력을 균등하게 분배하는 데 도움이되는 일련의 압축 챔버 (compaction chamber) 가 장착되어 있습니다. 결과는 웨이퍼 표면 전체에 대해 완벽하게 균일 한 마무리입니다. 세 번째 처리 스테이션은 "Polishing" 스테이션입니다. 이 "스테이션 '은" 웨이퍼' 의 표면 을 더욱 정련 하고 매끄럽게 하여 나머지 모든 불완전성 을 제거 하도록 설계 되었다. 이 스테이션은 일련의 폴리싱 휠 (Polishing Wheels) 을 사용하여 나머지 불완전성을 기계적으로 긁은 다음, 일련의 버프 (buffs) 를 사용하여 웨이퍼의 평평함 및 오염 제어 요구 사항에 맞는 마무리 광선을 부여합니다. SPEEDFAM 2B-9L의 유연한 설계를 통해 순차적 처리, 프로세스 주기 최적화, 부스터 마무리 (옵션) 와 같은 추가 사용자 정의도 가능합니다. 또한 이 머신은 최대 999 개의 즐겨찾는 레시피 (및 USB 드라이브에서 저장된 레시피를 가져올 수 있는 기능), 실시간 상태 모니터링, 여러 스테이션의 운영자 제어 등 다양한 수동/자동 프로세스 제어 옵션을 제공합니다. 전반적으로, 2B-9L은 웨이퍼 처리에 이상적인 솔루션이며, 반복 가능하고 정밀한 결과를 제공합니다. 사용하기 쉽고, 전체 프로세스를 정확하고 정확하게 제어할 수 있습니다. SPEEDFAM 2B-9L (SPEEDFAM 2B-9L) 도구를 사용하면 웨이퍼 처리 작업의 품질 및 제품 출력에 대한 자신감을 유지할 수 있습니다.