판매용 중고 SPEEDFAM 29 DPAW #9371996

ID: 9371996
빈티지: 2013
Wafer polisher 2013 vintage.
SPEEDFAM 29 DPAW는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 강력한 시스템은 프레임 웨이퍼 (framed wafer) 와 비 프레임 웨이퍼 (unramed wafer) 를 모두 처리 할 수 있으며 현대 반도체 제작 프로세스에 사용되는 다양한 박막, 레이어 구조 및 기타 기판을 처리 할 수 있습니다. 29 DPAW 장치에는 고급 연삭, 랩핑 및 연마 기술이 장착되어 복잡한 직교 기하학, 나이프 에지, 경사 평면, 광학적으로 평평한 표면을 제공합니다. 매우 높은 정밀도 및 표면 품질을 가진 평면 화 (planarization) 와 미사 처리 (preshaping) 를 수행합니다. 고도 의 "그라인딩 '," 랩핑' 및 연마 는 정교 한 "컴퓨우터 '화 된 기계 에 의해 조절 되어 반복 할 수 있고 측정 할 수 있는 결과 를 가져온다. SPEEDFAM 29 DPAW의 고급 절단 헤드 기술은 2 개의 4 패드 고속 휠에 사전 코팅 된 다이아몬드 연마재로 구성된 특허 그라인딩 및 랩핑 도구를 사용합니다. 이렇게 하면 재료 제거 속도가 빨라지고, 가장자리 품질이 향상되며, 정밀도가 매우 높습니다. 이 에셋은 또한 조절 가능한 공기 베어링 스핀들 (air bearing spindle) 을 특징으로하며, 높은 정확도를 위해 최소한의 작동 진동을 가능하게하면서 정밀한 가공소재 방향 및 제어를 가능하게합니다. 29 DPAW는 또한 물에 연마 입자 슬러리 (slurry) 를 사용하여 고품질 마무리를 만드는 독특하고 효율적인 연마 모델을 특징으로합니다. 이를 통해 표면의 안정성과 다양한 연마 옵션이 가능합니다. 이 장비에는 매우 구체적인 표면 마무리 (surface finish) 요구 사항을 달성하기 위해 다양한 연마 패드가 제공됩니다. SPEEDFAM 29 DPAW의 추가 기능에는 고해상도 CCD 광학 표면 검사 시스템, 진공 장치, 그리고 지속적으로 발전하는 반도체 산업의 요구를 충족시키는 다양한 액세서리 및 예비 부품이 포함됩니다. 이 기계 는 대용량 생산 부피 뿐 아니라 여러 가지 재료 를 처리 할 수 있어서, "반도체 '가공 공장 에 이상적 인 선택 을 할 수 있다. 29 DPAW (DPAW) 는 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급적이고 신뢰할 수 있는 툴로서, 뛰어난 연삭, 랩핑, 연마 성능을 제공합니다. 이 장비는 정확한 절단 헤드 기술, 슬러리 (slurry) 연마 자산, 고급 CCD 광학 표면 검사 모델을 통해 우수한 결과와 고품질 출력을 제공할 수 있습니다.
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