판매용 중고 SPEEDFAM 28B-5L #9259365
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SPEEDFAM 28B-5L (SPEEDFAM 28B-5L) 은 지루한 수작업 없이 고품질 표면 마감과 정확한 두께 공차를 생성하도록 설계된 뛰어난 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide), 쿼츠 웨이퍼 (quartz wafer) 와 같은 다양한 반도체 기판을 효율적으로 준비하는 데 적합합니다. 이 장치는 매우 매끄러운 마무리로 고품질 서피스를 생성 할 수 있으며, 지표면 손상 (subsurface damage) 이 최소화됩니다. 전동식 단일 스핀들 그라인딩 휠로 구성되어 있으며, 표면 마감은 1äm Ra 미만이며 두께 공차는 최대 + 1/-2õm입니다. 모터는 조절 가능하며, 최대 연삭 속도 (6000 rpm) 를 제공하는 반면, 연삭 휠은 최대 72000 rpm으로 회전 할 수 있습니다. 그 유연성은 많은 경쟁사를 능가합니다. 28B-5L 머신은 또한 통합 랩핑 (lapping) 및 연마 장치 (polishing unit) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 매우 단단하고 일관된 재고 제거 속도로 낮은 반사 표면을 만들 수 있습니다. 랩핑 및 연마 장치는 개별적으로 조절 가능한 2 개의 압력판으로 구성되며, 정밀한 재료 제거를위한 랩핑/연마 압력을 제어 할 수 있습니다. 이 프로덕션 설정은 + 6/-8äm의 최종 두께 공차와 0.1µm 미만의 거울 유사 서피스 마무리를 달성하는 데 이상적입니다. 또한, 통합 마이크로 러프 연마 (micro-rough polishing) 는 최대 0.2äm Ra의 낮은 결함 표면 마무리를 생성하도록 설계되었습니다. 액체 냉각수 도구는 최적의 냉각수 온도를 보장하며, 처리 안정성을 높이고, 표면 마무리 품질을 더욱 향상시킵니다. SPEEDFAM 28B-5L에는 중앙 파편 제거 및 여과를위한 고급 에셋 (advanced asset) 이 장착되어 공구 피트니스 및 수명이 크게 증가합니다. 전체적으로 28B-5L 모델은 높은 생산량 (production output) 을 자랑하는 뛰어난 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 기능을 제공하도록 설계되었으며, 양질의 결과를 적시에, 신뢰할 수 있는 방식으로 생산하고자 하는 최고의 솔루션입니다.
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