판매용 중고 SPEEDFAM 24GPAW #9257660

SPEEDFAM 24GPAW
ID: 9257660
빈티지: 1979
Single sided polishing machine 1979 vintage.
SPEEDFAM 24GPAW 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 광택 장비는 반도체, 데이터 스토리지, 의료 장치, 기타 업계의 다양한 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 고효율· 저비용으로 대형 웨이퍼를 처리할 수 있는 다기능 시스템이다. 이 장치에는 4 개의 연삭 및 연마 헤드가 장착 된 대형 공정 챔버가 있습니다. 각 머리에는 연삭 (grinding) 과 연마 (polishing) 미디어가 포함되어 있으며, 다양한 웨이퍼 치수와 재료로 조정할 수 있으며, 다양한 수준의 표면 거칠기를 달성합니다. 이 헤드는 또한 내장 스파킹 방지 (anti-sparking) 메커니즘과 연삭 압력 및 기타 매개변수를 지속적으로 모니터링하여 안전하지 않은 작업 조건을 제거하는 안전 기계를 갖추고 있습니다. 이 챔버에는 또한 한 쌍의 AC 구동 조절 가능 속도 드라이브가 포함되어 있어 헤드의 정확한 이동과 뛰어난 결과의 반복성 (repeatibility of result) 을 보장합니다. 조정 가능한 압력 센서 및 챔버의 레벨 검출기 (level detector) 는 연삭 및 연마 과정을 정확하게 제어합니다. 이 도구는 또한 웨이퍼의 자동 로드 및 언로드를 특징으로하므로, 운영자의 개입을 줄이고, 생산을 최적화합니다. 냉각 자산은 와퍼에 대한 열 관련 손상을 방지하며, 연삭 및 연마 챔버 위에 큰 공랭식 후드 (hood) 가 있습니다. 이 모델에는 여러 개의 여과 시스템이 있으며, 일관된 결과를 얻기 위해 먼지가없는 환경을 만들도록 설계되었습니다. 이 장비에는 PLC (PLC for Operation Processing) 가 장착되어 있으며, 사용자 친화적인 그래픽을 사용하여 조정할 수 있습니다. 전체 "시스템 '은" 스테인리스' "프레임 '에 들어 있으며 수동 모드 와 자동 모드 로 작동 하도록 설계 되었다. SPEEDFAM 24 GPAW (SPEEDFAM 24 GPAW) 는 웨이퍼의 연삭 및 연마를 위한 고성능 솔루션으로, 생산에 소요되는 시간을 단축하고 비용을 절감할 수 있습니다. 이 제품은 신뢰성이 뛰어나며, 각기 다른 업종의 요구를 충족할 수 있도록 맞춤식으로 설계되어, 대규모 생산을 위한 유연하고, 경제적인 솔루션을 제공합니다.
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