판매용 중고 SPEEDFAM 24GPAW #9223158
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ID: 9223158
빈티지: 1979
Single side CMP system
No inverter and pump
(2) No steps pressurization
1979 vintage.
SPEEDFAM 24GPAW는 다양한 웨이퍼 및 기판 재료를 처리 할 수있는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 표면 준비, 평면 배치, 등 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 에지 프로파일 링 및 박막 제거. 정합성 있고 고품질 (High-Quality) 출력을 제공하도록 설계된 완전 자동화 시스템입니다. 이 장치는 기술적으로 고급 된 3 축 CNC 그라인딩 스핀들 (분당 최대 속도 24,000 회전) 로 구동됩니다. 이 스핀들 (spindle) 은 다양한 재료의 정밀 연삭 및 랩핑을위한 다이아몬드, 연마제 및/또는 수지 결합 도구를 선택하여 보완합니다. 이 기계는 또한 가변 속도 랩핑 플레이트 (variable speed lapping plate) 와 미세 입자 슬러리 도구 (fine particle slurry tool) 를 사용하여 작업 표면에 균일하게 분포 된 매우 정밀한 곡물을 달성합니다. 연산자는 연삭 압력, 스핀들 속도, 공구 마모, 슬러리 (slurry) 흐름 속도 등 직관적인 제어판을 사용하여 모든 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 또한 이 패널을 사용하면 그라인딩 주기 (grinding cycle) 를 쉽게 프로그래밍할 수 있으므로 각 프로세스의 일관성과 정밀도를 더욱 높일 수 있습니다. 최종 결과의 품질과 균일성을 극대화하기 위해, 자산에는 정교한 표면 이미징 (surface imaging) 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비는 표면 불규칙성 및 기타 기능을 분석, 감지, 표시할 수 있습니다. 이미지 저장· 분석· 분석· 결함· 불규칙성 검사도 가능하다. SPEEDFAM 24 GPAW (SPEEDFAM 24 GPAW) 는 외부 물체의 진입과 작업 영역의 방해를 감지 할 수있는 센서를 포함하여 다양한 안전 기능을 자랑합니다. 또한 "센서 '는 모든 진동 을 감지 할 수 있는데, 이것 은" 시스템' 의 일관성 있는 작동 에 중요 하다. 전반적으로, 24GPAW는 신뢰할 수있는 품질 출력을 제공하는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 직관적인 컨트롤과 자동 (automated) 기능을 통해 사용하기 쉽고, 최소한의 설정으로 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 24 GPAW는 정확한 표면 준비 결과를 찾는 제조업체에 적합한 도구입니다.
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