판매용 중고 SPEEDFAM 24GPAW #293672291

ID: 293672291
빈티지: 2010
Polisher 2010 vintage.
SPEEDFAM 24GPAW 장비는 반도체 제조업체가 최고의 생산 처리량을 달성하도록 설계된 고급 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 기계입니다. 특허를 획득한 저진동 (low-vbration) 저온 (low-temperature) 프로세스를 활용하면 시간당 최대 1,400 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이 장치는 또한 사파이어 (sapphire) 와 같은 단단하고 부서지기 쉬운 재료에서도 달성 할 수있는 50Å RMS (Fine Finish) 를 제공 할 수 있습니다. SPEEDFAM 24 GPAW는 재고 제거를위한 프리 그라인드 휠 (pre-grind wheel) 의 독특한 조합과 최종 마무리 용 랩핑/연마 플레이트를 사용하여 웨이퍼를 처리합니다. 프리-그라인드 휠 (pre-grind wheel) 은 전체 웨이퍼 표면에서 일관된 표면 제거 속도를 달성하도록 최적화되었으며, 특허 된 저진동 공정으로 인해 연약한 웨이퍼 기판의 손상 위험이 크게 감소합니다. 한편, 랩핑 및 연마 플레이트는 표면 랩핑 마크를 최소화하여 단일 패스에서 필요한 공차 내에서 균일 한 표면 마무리를 달성합니다. 24GPAW 머신은 프리 그라인드 휠 (pre-grind wheel) 및 랩핑/연마 플레이트 (lapping/polishing plate) 에 대한 직관적인 컨트롤 및 매개변수 설정으로 설치하고 작동하기 쉽습니다. 또한, 이 도구는 일괄 사용을 위한 자동 미디어 전달 에셋을 갖추고 있으며, 최대 48 시간의 무인 작업 및 클로즈드 루프 (closed-loop) 미디어 및 복합 클리닝 (compound cleaning) 모델을 통해 미디어 간의 오염을 방지합니다. 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 모니터링 장비 (옵션) 도 사용할 수 있습니다. 최대 안전성을 보장하기 위해 24 GPAW에는 레이저 센서 (Laser sensor) 가 랩핑 플레이트 표면에서 개체를 감지하는 것, 완전한 제어를 보장하는 2 핸드 스타트 시스템, 자동 도어를위한 잠금 장치 (lockout mechanism) 와 같은 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 또한, 이 장치는 CE 표준을 기반으로 제작되었으며, 손쉽게 작동할 수 있도록 광범위한 사용 가능성 테스트를 거쳤습니다. SPEEDFAM 24GPAW 는 클린 룸 (Cleanroom) 및 진공조절 (Vacuum-controlled) 생산 라인을 포함한 다양한 산업 환경에서 사용할 수 있도록 인증되었으며, 원격 유지 보수 및 수리를 위한 광범위한 서비스 지원 팀의 지원을 받습니다. 무엇보다도, SPEEDFAM 24 GPAW는 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 최고 수준의 생산 처리량을 달성하기위한 완벽한 도구입니다.
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