판매용 중고 SPEEDFAM 24G #103647
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SPEEDFAM 24G (SPEEDFAM 24G) 는 오늘날 가장 까다로운 분석 요건을 충족하면서 최고의 수준의 프로세스 제어 및 반복성을 달성하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 장비입니다. 이 시스템에는 24 개의 스핀들이 있으며 최대 4 개의 웨이퍼 처리를 동시에 수행 할 수 있습니다. 프로세스 매개변수 (process parameter) 는 사용자의 요구에 따라 변경할 수 있으므로 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이를 통해 직경 100mm ~ 300mm 사이의 다양한 웨이퍼 크기와 모양을 처리 할 수 있습니다. 24G는 전통적인 플랫/프로파일 그라인딩과 진공 그라인딩을 포함한 고급 그라인딩 기술을 활용합니다. 따라서 모든 웨이퍼 서피스가 고객의 정확한 사양에 일관되고 균일하게 배치됩니다. 이 장치는 효율적인 미세 연삭 (Fine Grinding) 과 완벽한 연마 (Polish to Perfection) 를 위해 설계되었으며, 증착, 리소그래피 및 기타 필수 처리 활동이 용이한 정밀 균일 한 표면을 제공합니다. 또한 기존의 랩핑 연마제가 필요하지 않은 특수 랩핑 (lapping) 프로세스가 특징입니다. 이 독점 과정은 물질 소비를 줄이고 폐기물 처분의 필요성을 제거합니다. 또한 "랩핑 '공정 을 통해 융통성 있는 처리 와" 커트' 식 "웨이퍼 '를 기계 를 왕복 하여 자동 운반 할 수 있으므로 생산성 과 효율적 인" 웨이퍼' 처리 가 가능 하다. SPEEDFAM 24G의 고급 랩핑 제어 및 진단을 통해 정확하고 정확한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 고정밀 작동 환경은 입자 생성을 최소화하고 온도 상승을 최소화하며, 향상된 성능과 반복성을 제공합니다. 또한 기존 프로세스/워크플로우를 손쉽게 통합할 수 있게 해 주며, 비용을 절감하고 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이 기계는 처리 된 모든 웨이퍼 (wafer) 에 대한 프로세스 데이터를 수집하고 저장하기 때문에 탁월한 프로세스 모니터링 및 제어를 위해 설계되었습니다. 또한 대화형 터치스크린이 포함된 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 작업 단순화, 안전 및 효율성을 제공합니다. 24G는 웨이퍼 프로세싱을 위한 일체형 솔루션입니다. 생산성 (Productivity) 과 출력을 향상시키는 한편, 완전 자동화 환경에서 광범위한 웨이퍼 처리 (Wafer Processing) 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다.
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