판매용 중고 SPEEDFAM 24BTAW #9276630

SPEEDFAM 24BTAW
ID: 9276630
Single sided system.
SPEEDFAM 24BTAW Wafer Grinding, Lapping & Polishing Equipment는 반도체 웨이퍼의 생산 연삭, 랩핑 및 연마에 필요한 정확성, 정확성 및 다재다능성을 제공하도록 설계된 다기능 시스템입니다. 이 장치에는 와퍼 랩핑 (wafer lapping) 과 연마 (polishing) 에 사용될 수있는 완전 프로그래밍 가능한 고성능 드라이 다이 싱 헤드가 장착되어 있습니다. 이것 은 정확 한 사양 에 맞추어 정확 하고 정확 한 "웨이퍼 '연삭 을 하기 위하여 고도 의" 머시닝 센터' 와 결합 된다. 이 기계는 최대 12kW의 자동 속도 제어를 통해 단일 모터 드라이브 (motor drive) 로 구동되며, 연삭, 랩핑 및 연마 작업을 정확하게 제어합니다. 이 공구 (Tool) 는 별도로 조절 가능한 축 동작을 모두 갖추고 있어 정확한 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 작업과 웨이퍼의 모든 면을 동시에 닦을 수 있습니다. 또한 웨이퍼 (wafer) 의 각 면을 동시에 프로파일링하여 정밀도와 정확도를 높일 수 있습니다. SPEEDFAM 24 BTAW에는 프로그램 입력 및 관리를 위해 그래픽 CNC 사용자 인터페이스가 장착되어 있으며, 운영자는 연삭, 랩, 연마 프로세스를 쉽게 프로그래밍 및 제어 할 수 있습니다. 에셋은 또한 피드 레이트 (feed rate), 공구 선택 (tool selection) 및 절단 속도를 조정하는 기능을 통해 습식 (wet) 및 건식 (dry) 연마 프로세스를 완전히 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 프로세스 일관성 및 프로세스 설명서의 데이터 로깅 기능 향상을 위한 통합 in-process monitoring 장비를 갖추고 있습니다. 24BTAW는 생산성을 위해 설계되었으며, 생산량 반도체 웨이퍼의 연삭, 랩핑, 연소를 위한 높은 처리량을 제공합니다. 여기에는 신속한 전환, 유지 보수, 신뢰성 향상, 다운타임 감소가 가능한 모듈식 터렛 (turret) 시스템이 포함됩니다. 또한, 정확하고 일관된 웨이퍼 프로파일 조정이 가능한 다양한 조정기가 있습니다. 24 BTAW는 다양한 웨이퍼 생산 요구 사항에 적합하며, 반도체 웨이퍼 생산에 필요한 성능, 품질, 신뢰성을 제공합니다. 이 제품은 매우 구성 가능한 유닛으로, 습식 (wet) 및 건조 (dry) 프로세스 모두에 다양한 옵션을 제공하여 각 고객의 구체적인 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 따라서 이 기계는 고품질 및 정확한 사양을 달성해야 하는 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 작업에 적합한 선택입니다.
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