판매용 중고 SPEEDFAM 24BTAW #293636360
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ID: 293636360
빈티지: 1991
Single side lapping machine
Plate, Φ 24"
Ring area: 254 Sq.inch
Cylinder, 3.26"
Down pressure per head: 264 Lbs
Hold down diameter, 9"
Plate speed: 87 RPM
Includes:
(3) Down pressure air cylinders hold downs
Water cooled table
Air acutated parts handling table
Abrasive slurry distribution system
Cycle timer control (30 minutes)
Power supply: 230 V, 60 Hz, 3 Phase
1991 vintage.
SPEEDFAM 24BTAW는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다양한 웨이퍼 기판에서 고품질 서피스를 생성 할 수 있습니다. SPEEDFAM 24 BTAW에는 최대 24 개의 그라인딩 헤드가 장착되어 있으며, 각 헤드에는 수직 및 수평 피드 레이트를 모두 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 최적의 프로세스 정확성을 위해 연삭 거리를 매우 정확하게 제어 할 수 있습니다. 24 개의 그라인딩 헤드는 3 개의 열과 5 개의 행으로 구성되며, 각각 응용 프로그램의 특정 요구 사항에 따라 속도와 깊이가 조정됩니다. 랩핑 프로세스는 공압 및 유압 실린더의 조합에 의해 제어됩니다. 이것은 매우 정확한 랩핑 압력과 동작을 보장합니다. 공압 실린더는 랩핑 공정의 미세 튜닝을 허용하는 반면, 유압 실린더 (hydraulic cylinders) 는 고르고 일정한 랩핑 압력을 제공합니다. 연마 과정은 또한 매우 정확하며, 광범위한 사전 설정된 운영 매개변수를 허용합니다. 이는 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 연마 "헤드 '는 속도 와 깊이 로 조정 할 수 있으며, 엄밀 히 조절 된 공정 이 가능 하다. 이 장치는 또한 더 큰 가공소재를 위해 여러 디스크 연마 설정을 지원합니다. 24BTAW는 스테인리스 스틸 바디, 알루미늄 커버, 강화 물개 등 내구성이 뛰어난 부품으로 구성됩니다. 이 표지에는 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 필요에 따라 매개변수를 조정할 수 있는 여러 창이 있습니다. 이 기계에는 빠르고 쉬운 매개변수 변경을 위해 직관적인 핸드 헬드 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 24 BTAW는 고정밀 웨이퍼 처리에 이상적인 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구입니다. 이 자산은 조절 가능한 운영 매개변수 (operating parameter) 와 견고한 구조 덕분에 뛰어난 표면을 생산할 수 있습니다. 여러 디스크 폴링 (polishing) 설정을 처리하는 기능은 다양한 애플리케이션에 적합합니다.
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