판매용 중고 SPEEDFAM 24B #9217162

SPEEDFAM 24B는 정밀 평면 표면 부품 생산을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 웨이퍼 및 기타 섬세한 부품의 유전체 및 금속 표면을 평평하고 매끄럽게 만드는 데 사용됩니다. 이 시스템은 상단 및 하단 플래튼으로 구성되며, 둘 다 최대 24 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 플래튼 표면은 캐스트 알루미늄으로 만들어졌으며, 최적의 성능을 위해 세라믹 재료로 코팅됩니다. "플래튼 '탑 은" 플래튼' 을 움직 이고 연마 하는 데 필요 한 압력 을 조정 할 수 있는 "기어 '형" 스핀들 모우터' 에 부착 되어 있다. 스핀들 모터 (spindle motor) 는 연삭/연마력을 조정할 수있는 통합 제어 모듈에 연결됩니다. 판금 바닥은 정확한 표면 평면을 위해 선형 베어링에 장착됩니다. 웨이퍼 그라인딩의 경우, 플래튼 탑에는 그라인딩 휠 (grinding wheel) 이 장착되어 있으며, 이는 업다운 동작으로 이동할 수 있습니다. 제어 모듈을 통해 연산자는 가장 적합한 연삭 압력, 모터 토크 및 연마 휠 유형을 선택할 수 있습니다. 또한, 제어 모듈을 사용하면 웨이퍼 (wafers) 상태에 대해 가장 적합한 그라인딩 모드를 선택할 수 있습니다. 웨이퍼 랩핑의 경우, 플래튼 바닥에는 미세한 다이아몬드 연마제 실리콘 카바이드 용지가 장착되어 있습니다. "실리콘 카바이드 '종 이 의 압력 은 조절 할 수 있으며, 장치 밖 에서 제어 할 수 있다. 게다가, "플래튼 '의 속도 는" 랩핑' 압력 을 조정 할 수 있다. "웨이퍼 '연마 작업 은 회전식" 브러쉬' 가 장착 된 "플래튼 '을 사용 함 으로써 이루어진다. "브러쉬 '는 고운" 다이아몬드' 그릿 으로 구성 되어 있는데, 그것 은 손상 을 일으키지 않고 "웨이퍼 '의 표면 을 연마 할 수 있다. "로터리 브러쉬 '의 압력 과 속도 는 특정 한 연마 요건 에 맞도록 조정 될 수 있다. 24B에는 또한 2 개의 선택적 액세서리 모듈, 자동 웨이퍼 로더 및 옵토 전자 스트립 도금기가 있습니다. 자동 웨이퍼 로더를 사용하면 더 빠른 생산 처리가 가능하며, 옵토 전자 스트립 (opto-electronic strip) 도금 도구를 통해 최대 0.04mm 두께의 균일 한 도금 레이어를 달성 할 수 있습니다. 결론적으로, SPEEDFAM 24B 자산은 다양한 디자인과 조절 가능한 기능으로 인해 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마에 적합합니다. 선택적 "액세서리 '는 정밀 평면화 에 더 효율적 으로 사용 할 수 있게 해 주며, 이" 액세서리' 는 광범위 한 산업 "응용프로그램 '을 위한 이상적 인 선택 이 된다.