판매용 중고 SPEEDFAM 22B #293652327
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SPEEDFAM 22B 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 대형 반도체 웨이퍼 및 기타 연약한 부품의 연삭, 랩핑 및 연마를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 강철 트롤리에 장착 된 연삭 헤드, 랩핑 플레이트 및 연마 플레이트로 구성됩니다. 전체 장치는 정밀 선형 슬라이드 (linear-slides) 를 타고 최대 10,000 rpm의 속도를 낼 수있는 강력한 모터를 사용합니다. 또한, 이 장치에는 각 웨이퍼 (wafer) 또는 컴포넌트 (component) 의 품질을 최적화하기 위해 프로그래밍할 수있는 다양한 프로세스 옵션이 있습니다. 22B 의 "그라인딩 헤아드 '는 다양 한 각도 에 맞추어 조정 할 수 있으며, 이것 은 높은 정확도 로" 웨이퍼' 나 성분 의 표면 을 갈아서 형성 할 수 있다. 연삭 "헤드 '에는 또한" 웨이퍼' 나 성분 을 적절 히 연삭 하는 데 필요 한 여러 가지 "패드 '와 연삭" 휠' 이 갖추어져 있다. 게다가, 연삭 "헤아드 '는 작동 중 에 연삭 하는 머리 의 온도 를 조절 하고" 웨이퍼' 나 부품 의 손상 을 방지 하는 냉각기 를 가지고 있다. SPEEDFAM 22B의 랩핑 플레이트에는 랩핑 플레이트의 정확한 위치와 웨이퍼 (wafer) 또는 컴포넌트의 정확한 연마 (PPS) 모듈이 장착되어 있습니다. "랩핑 '판 은 각도 가 다양 한 것 으로 조정 될 수 있으며, 따라서 각" 웨이퍼' 나 구성 요소 의 "랩핑 '수준 을 최적화 할 수 있다. 뿐 만 아니라, "랩핑 '판 에는 작동 중 에" 랩핑' 판 의 균일 한 온도 를 유지 하도록 설계 된 냉각 도구 가 있다. 22B 연마 판은 정밀 마이크로 쉘 (micro-shell) 기술을 사용하여 웨이퍼 또는 컴포넌트를 미세 연마 할 수 있습니다. 연마 "플레이트 '에는 여러 가지 다른 연마" 헤드' 가 있는데, 그것 은 여러 가지 연마 과정 을 처리 할 수 있다. 그 에 더하여, 연마 "플레이트 '에는 또한 공해" 플레이트' 의 온도 를 조절 하고 "웨이퍼 '나 부품 의 손상 을 방지 하도록 설계 된 복잡 한 냉각 자산 이 있다. 전체 장치는 사용자 안전과 사용 편의성을 염두에 두고 설계되었습니다. SPEEDFAM 22B에는 E-Stop 기능, 원격 PPS 안전 프레임, 연삭 헤드의 안전 발, 안전 연동 스위치 등의 안전 기능이 있습니다. 또한, 이 모델에는 편리한 장비 설치 및 프로그래밍이 가능한 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 가 있습니다. 결론적으로, 22B는 강력하고 다목적 인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템으로, 높은 정확도를 제공하고 일관된 결과를 산출합니다. 이 장치는 사용자 안전 (User Safety) 과 사용 편의성을 염두에 두고 설계되었으며 대규모 웨이퍼 (Wafer) 및 기타 연약한 부품에 적합합니다.
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