판매용 중고 SPEEDFAM 22B-5L #9276642

SPEEDFAM 22B-5L (SPEEDFAM 22B-5L) 은 다양한 웨이퍼 기판의 컨디셔닝 및 재 형성뿐만 아니라 정밀 연마를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 다재다능한 시스템은 다양한 재료, 모양, 크기, 두께를 마무리 연삭, 랩핑, 연마 등의 복잡한 프로세스를 처리 할 수 있습니다. 22B-5L은 스핀들 어셈블리, 연마식 그라인딩 휠, 랩핑 플레이트, 연마 패드, 샘플 홀더 등 여러 가지 주요 요소로 구성됩니다. SPEEDFAM 22B-5L의 주요 구조 구성 요소는 스핀들 (spindle) 어셈블리이며, 스틸 프레임에 장착 된 브러시리스 (brushless) AC 모터가 250 ~ 10000RPM 사이의 조정 가능한 속도로 회전합니다. 모터 (motor) 는 보호 방패로 둘러싸인 연마식 그라인딩 휠 (grinding wheel) 에 연결되어 있으며 샘플 웨이퍼 또는 홀더 근처에 있습니다. 그라인딩 휠 선택에는 연마 수지 휠과 다이아몬드 휠이 포함됩니다. 랩핑 플레이트는 그라인딩 휠 (grinding wheel) 위에 장착되며, 가변 속도로 연마 할 수 있도록 표면에 배열 된 미세 (fine-grit) 매체로 구성됩니다. 연마 패드 (polishing pad) 는 랩핑 플레이트 끝에 장착되며, 표면을 더 마무리 및 정제하는 데 사용됩니다. 샘플 홀더에는 공압 및 수동 샘플 클램프 (clamps), 조정 가능한 패스닝 핀 (fastening pin) 및 샘플 확장기 레일 (extender rail) 이 포함되어 있으며, 작업 표면을 따라 웨이퍼의 정확하고 반복 가능한 위치를 설정할 수 있습니다. 22B-5L (약 22B-5L) 은 휠과 샘플 홀더 연삭을위한 방진표 (anti-vbration table), 장치 스트레스시 자동 종료 (automatic shutdown), 정확한 스테프레스 속도 제어 및 부하 변화에 대한 자동 보상을위한 고급 제어기 (advanced control machine). SPEEDFAM 22B-5L은 단순화된 제어판 작동과 강력한 PC 소프트웨어를 제공하여 프로세스 모니터링 및 프로그래밍성을 향상시킵니다. 또한 모듈식 설계를 통해 축 기울기 도구, 웨이퍼 회전 기능, 자산 측정을 위한 3축 레이저 간섭계 (3축 laser interferometer) 등 여러 옵션을 업그레이드 또는 추가할 수 있습니다. 22B-5L 은 다양한 고정밀도 구성 요소 및 웨이퍼를 강력하고 정확하게 생산할 수 있는 이상적인 모델로, 보다 깨끗하고, 밀도가 높은 표면 마무리, 처리 속도 향상, 프로세스 정의 향상 등의 효과를 제공합니다. 이 장비는 서비스 및 유지 보수가 용이하며, 일관된 결과를 얻어 저용량 (low-volume) 과 대용량 (high-volume) 생산에 모두 적합합니다.