판매용 중고 SPEEDFAM 22B-5L #9175935
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ID: 9175935
빈티지: 1984
Lapping system
(3) Motors
Eddy current sizing device included
1984 vintage.
SPEEDFAM 22B-5L은 반도체 및 기타 웨이퍼를 연삭, 랩핑 및 다듬는 데 사용되는 장비입니다. 이 시스템은 정확하고 반복 가능한 결과가 필요한 제조 프로세스 후 정밀 표면 마무리 웨이퍼에 주로 사용됩니다. 22B-5L은 웨이퍼의 공정 속도를 제어하기 위해 개별적으로 조정 가능한 드라이브 모터를 갖춘 12 인치 5 스테이션 도구 체인저를 갖추고 있습니다. 표와 같은 디자인은 분리 가능한 물개 판이 필요하지 않으며, 정확하고 일관된 그라인딩 표면을 제공합니다. 이 장치는 동시 연삭, 랩 핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 기능을 통해 매우 효율적이며 대형 웨이퍼의 처리 시간을 줄입니다. SPEEDFAM 22B-5L (SPEEDFAM 22B-5L) 에는 사용자가 원하는 특정 프로세스를 최적화하기 위해 편리하고 신속하게 설정을 조정할 수 있는 터치 스크린 제어판도 포함되어 있습니다. 이 프로세스 머신에는 전체 프로세스를 관리하는 내장 프로그래밍 가능 논리 컨트롤러가 있습니다. 여기에는 연삭, 랩핑 및 연마 압력 설정, 회전 속도, 이송 속도 (feed rate) 및 패스 수 설정 등의 기능이 장착 된 마이크로 프로세서가 포함됩니다. 컨트롤러는 나중에 사용할 수 있도록 매개 변수도 저장합니다. 22B-5L은 다이아몬드 그라인딩 휠 및 랩핑 플레이트를 사용하여 고품질 마무리를 달성합니다. 그라인딩 휠 및 랩핑 플레이트는 일관성 있는 결과를 위해 쉽고 표준화 될 수 있습니다. 또한 이 툴에는 프로세스 요구 사항에 가장 적합한 다양한 부하 용량 (예: 고정/회전 테이블) 과 다양한 옵션 (예:) 이 제공됩니다. SPEEDFAM 22B-5L 은 탁월한 프로세스 제어를 갖춘 사용자 친화적인 자산으로, 정확한 소형화 (micro-finishing) 결과, 처리량 향상 및 품질 관리 기능을 제공합니다. 이 모델은 정확도와 속도가 중요한 멀티 스텝 그라인딩, 랩핑, 연마 어플리케이션에 권장됩니다.
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