판매용 중고 SPEEDFAM 22B-5L #9156533

SPEEDFAM 22B-5L (SPEEDFAM 22B-5L) 은 소형 반도체 웨이퍼의 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 시 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 다듬기 장비입니다. 시스템에는 5 개의 랩핑 서피스가 있으며, 이는 사용자정의 사양에 따라 필요한 마이크로 서피스에 맞게 조정할 수 있습니다. 랩핑 서피스는 2, "3", 6 "이상을 측정하여 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 22B-5L의 본체는 베이스 유닛과 어퍼 랩핑 캐리지로 구성됩니다. 랩핑 캐리지는 모터 구동 스핀들 (motor-driven spindle) 에 의해 직접 구동되며 최적의 그라인딩 표면 접촉을 위해 독립적으로 중단됩니다. 랩핑 표면에는 또한 웨이퍼를 안전하게 보관하는 진공 클램핑 장치 (vacuum clamping unit) 가 포함됩니다. 랩핑 프로세스는 특수 전기 도금 다이아몬드 디스크를 사용하는 독특한 다이아몬드 연마 프로세스 (diamond-abrasive grinding process) 를 사용하여 수행됩니다. 다이아몬드-연마제 랩핑 공정은 완성 된 웨이퍼 표면의 단단한 공차 내에서 뛰어난 균일성과 정확도를 제공합니다. SPEEDFAM 22B-5L (SPEEDFAM 22B-5L) 은 또한 랩핑 표면의 위치 및 속도, 웨이퍼에 적용되는 랩핑 압력의 양을 제어하는 고급 랩핑 및 연마 제어 머신을 갖추고 있습니다. 이 기능은 웨이퍼를 동일한 압력으로 처리하여 최종 제품의 일관성 (Consistency) 과 정확성 (Accurity) 을 크게 높여줍니다. 위의 기능 외에도 22B-5L에는 몇 가지 고급 안전 기능이 내장되어 있습니다. 전체 안전 회로 도구 (full safety circuit tool) 를 통해 작동 중 운영자의 안전을 보장하고, 모델의 상태와 잠재적 오류를 모니터링하고 운영자에게 경고하는 자가 진단 자산 (self-diagnostic asset) 을 제공합니다. 전반적으로 SPEEDFAM 22B-5L은 내구성이 뛰어나고 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 최고의 정확도로 일관된 결과를 제공합니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 생산에 사용하기에 적합하며 다양한 웨이퍼 크기에 대한 우수한 그라인딩 표면을 제공합니다. 기계의 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 및 안전 (Safety) 기능은 운영자가 안전하며 프로세스가 효율적이고 일관되게 수행되도록 합니다.