판매용 중고 SPEEDFAM 20B #9363838

SPEEDFAM 20B (SPEEDFAM 20B) 는 기판 처리를 위해 최고의 성능과 효율적인 웨이퍼 생산을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. SPEEDFAM 20 B는 15 인치입니다. 정밀 연삭 용 플래튼, 9 인치. 랩핑을위한 캐리어 테이블 및 5 인치. 연마 용 캐리어 테이블. 이 기계는 또한 최대 재료 제거 속도 (최대 10) 를 제공 할 수있는 MicroPass 가변 속도 연마 헤드가 장착되어 있습니다. 프로세스 제어를 위해 20B 시스템에는 연마, 랩, 그라인딩 (grinding) 프로그램을 관리하기 위해 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스도 제공됩니다. 20 B 단위의 연마 면적은 테이블 전면에 압력 매니 폴드 (pressure manifold) 를 가지며, 이는 연마 공정의 압력을 변화시키는 데 사용될 수있다. 연마 플래튼에는 가변 속도 모터를 사용하는 2 개의 독립적 인 연마 헤드 (polishing head) 가 있으며, 이를 통해 연마 속도의 미세 튜닝이 가능합니다. 또한, "머신 '은 기판 과 판 사이 의 간격 을 쉽게 조정 하는 데 사용 되는 외부" 지그 머신' 을 가지고 있다. SPEEDFAM 20B는 연삭 및 랩핑 활동을 모두 위해 자동 드레서 도구를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 도구를 자동으로 및 최소한의 사용자 개입으로 복장할 수 있습니다. 드레서에는 드레싱 (dressing) 매개변수를 설정하고 드레싱 활동을 모니터링할 수 있는 컨트롤러가 있습니다. SPEEDFAM 20 B 자산의 그라인딩 영역은 회전 모터를 사용하여 고정밀 그라인딩을 제공합니다. 모터의 가변 속도 범위는 최대 15,000 rev/min이며, 반복성이 뛰어납니다. 이 기계에는 연삭 운동의 3 축 (X, Y, Z) 조정을위한 프로그래밍 가능한 헤드가 장착되어 있습니다. 플래튼은 또한 연삭 과정에서 최대 기질 준수를 보장하기 위해 진공 보류 (vacuum hold-downs) 를 가지고 있습니다. 20B 모델의 랩핑 영역에는 2 단계 랩핑 프로세스가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사전 랩핑 프로세스와 정확한 랩핑 프로세스를 완료할 수 있습니다. 랩핑 프로세스는 또한 조정 가능한 지그 장비를 사용하여 반복 가능한 랩핑 매개변수를 허용합니다. 이 랩핑에는 최적의 재료 제거 속도 (material removal rate) 와 운영자 손상을 방지하는 내장 안전 시스템 (내장 안전 시스템) 을 허용하는 가변 속도 모터가 있습니다. 안전 을 위해, 20 B 는 또한 "오퍼레이터 '와 기계 의 연삭 및 연마 구역 사이 의 안전 장벽 역할 을 하는 가벼운" 커튼' 을 이용 한다. 광선 커튼 (light curtain) 은 연산자가 영역으로 들어갈 때마다 분리되며, 연산자가 영역을 떠날 때 다시 활성화됩니다. 스피드 팜 (SPEEDFAM) 20B 는 또한 기계의 모든 영역이 오염이 없도록 하기 위해 내장된 청결 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계에는 자동 미디어 리필/플러시, 공기 여과 및 정적 제거 도구가 포함됩니다. 전반적으로 SPEEDFAM 20 B는 최적의 성능과 효율적인 웨이퍼 생산을 제공하는 뛰어난 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산입니다. 20B는 자동화 된 드레서 모델, 가변 속도 모터, 내장 안전 시스템, 청결 시스템을 통해 기판의 정밀 연삭 및 연마 기능을위한 모든 포함 솔루션을 제공합니다.