판매용 중고 SPEEDFAM 20B-5L #9372666
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ID: 9372666
빈티지: 2013
Double sided lapping machine
Maximum down force: 648 kg
Down force range: 0-684 kg
Plate dimension: φ 1355 mm x φ 458 mm x 50 t
Upper plate: 434 kg
Lower plate assembly: 460 kg
Lower plate RPM: 18-60 RPM, 50/60 Hz
(5) Carriers: 20B
Main cylinder: φ 180 mm x 500 St
Air supply: 6 kg/cm², 127 Nl/min (5.5 kg/cm²)
Work piece dimension:
Maximum diameter: φ 410 mm
Minimum thickness: 0.5 mm
Maximum thickness: 30 mm
Carrier / Ring gear / Sun gear:
M: 3 / 3 / 3
Z: 170 / 472 / 132
PCD: 510 / 1416 / 396
Breaker capacity: 125/75 A
Main drive motor: 15 kW
Ring gear drive motor: 3.7 kW
Sun gear drive motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW
Slurry pump, agitation motor: 0.4 kW, 0.1 kW
Power requirement: 220/380 V, 3-Phase, 21.1 kW
2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5L은 반도체 산업을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 링, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 5 축 로봇 헤드, 최대 20 인치 직경 웨이퍼 처리를위한 로봇 스테이지, 고온 연삭 테이블 및 랩핑 플레이트로 구성됩니다. "로봇 '암 의 최고 속도 는 140" 센티미터' 이며 조잡한 "그라인딩 '수술 에서 미세 한" 그라인딩' 수술 까지 모든 종류 를 처리 할 수 있다. "로봇 '단계 에는 정밀 한 움직임 과 정확 한 결과 를 전달 하기 위하여 고도 의" 리니어 모우터' 가 갖추어져 있다. 자동화된 비전 장치 (vision unit) 와 고급 소프트웨어 덕분에 20B-5L 은 빠르고 안정적인 표면 연삭 및 랩핑 작업을 수행할 수 있습니다. 연삭 테이블 (grinding table) 은 부드러운 힘에서 공격적인 힘까지 다양한 연삭 힘을 제공 할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 기능, 테이블 (table) 을 설정하여 응용 프로그램에 따라 특정 힘 수준을 전달할 수 있습니다. 이 표에는 연삭 속도를 높이고 절단 성능을 최적화하기 위해 고온 공기 송풍기 (air blower) 도 장착되어 있습니다. 랩핑 플레이트 (lapping plate) 에는 랩핑 프로세스를 구동하는 고 토크 모터 (high-torque motor) 가 있으며, 지원 테이블에는 정확한 웨이퍼 회전을 허용하는 드라이브 메커니즘이 포함되어 있습니다. SPEEDFAM 20B-5L (SPEEDFAM 20B-5L) 은 혹독한 생산 환경에서 사용할 수 있도록 설계되었으며, 견고성 강화 (Rugged) 를 통해 극한의 작업 상태에서도 안정적인 운영을 보장합니다. 이 기계에는 모든 도구 작업에 쉽게 액세스할 수 있는 고급 터치스크린 (touch-screen) 인터페이스가 있습니다. 또한, 강력한 컴퓨터 제어 자산 (computer control asset) 을 통해 프로그래밍 가능한 속도와 공구 변경 (tooling changes) 을 가능하게 하며, 사용자의 요구 사항에 맞게 시스템 성능을 사용자 정의할 수 있습니다. 20B-5L은 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업에 이상적입니다. 이 모델의 고급 기술 (Advanced Technology) 과 견고성 강화 (Rugged Construction) 는 엄격한 공차와 뛰어난 표면 마무리로 다양한 연삭 및 연마 작업을 용이하게합니다. 또한 고급 비전 장비 (Advanced Vision Equipment) 와 터치 스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 를 통해 시스템을 손쉽게 구성, 운영 및 모니터링할 수 있어 프로세스를 더욱 안정적이고 효율적으로 수행할 수 있습니다.
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