판매용 중고 SPEEDFAM 20B-5L #9363669
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ID: 9363669
빈티지: 2013
Double sided lapping machine
Workpiece dimensions:
Maximum diameter: 410 mm
Minimum thickness: 0.5 mm
Maximum thickness: 30 mm
Maximum down force: 684 kg
Down force range: 0 to 684 kg
Plate dimensions: φ 1355 x φ 458 x 50 t
Upper plate: 434 kg
Upper ring assembly: 460 kg
Lower plate: 18-60 RPM
Frequency: 50/60 Hz
(5) Carriers: 20B
Main cylinder: 180 φ x 500 st
Breaker capacity: 125/75 Amps
Main motor: 15 kW
Ring gear motor: 3.7 kW
Sun gear motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.1 kW
Air pressure: 5-6 kgf/cm², 127 N1/min (5.5 kgf/cm²)
Carrier / Ring gear / Sun gear
M: 3 / 3 / 3
Z: 170 / 472 / 132
PCD: 510 / 1416 / 396
Power supply: 200/380 V, 50/60 Hz, 21.1 kW, 3 Phase
2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5L은 다용도 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 다양한 재료와 기판에 고품질, 매우 평평하고, 정밀하게 질감 있는 표면을 생산하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 기판을 빠르고 정확하게 처리하기 위해 20 인치 웨이퍼 그라인딩 (grinding) 및 연마기와 통합된 고유하고 동적, 자체 로드/언로드 장치를 사용합니다. 가장 정확한 평평한 연삭 및 연마 결과를 위해 특수 인공 "다이아몬드 '연삭 및 랩핑 표면을 포함합니다. 기계는 필요한 작동 온도를 유지하기 위해 고급 자동 워터 제트 (water jet) 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. 20B-5L (20B-5L) 은 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마가 필요한 다양한 연구, 공급 및 제조 작업에 사용하도록 설계되었습니다. 모듈식 다기능 디자인은 실리콘, 폴리 실리콘, 이산화규소, 갈륨 비소, 산화 알루미늄, 석영 유리 등 다양한 기질을 생산할 수있는 최대 유연성을 제공합니다. 또한 마이크로 전자 또는 MEMS의 고정밀 생산에도 적합합니다. 이 도구에는 고품질 2축 디지털 판독 장치 (digital readout), PLC 제어 서보 모터 드라이브 (PLC controlled servo-motor drive) 및 통합 데이터 수집 에셋이 장착되어 있어 각 사이클의 작동을 정확하게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 비상 정지 버튼, 랩핑 후드 안전 (lapping hood safety) 기능, 고장 방지 보호문 등 사용자 안전을위한 다양한 고급 안전 기능을 제공합니다. SPEEDFAM 20B-5L 은 프로세스 최적화 기능 (Full Suite of Process Optimization Function) 을 포함하여 다양한 생산성 리소스를 갖추고 있어 가장 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 그것은 균일 한 결과, 최적의 연삭, 랩핑 및 연마를 보장하는 다단 작동 제어를 특징으로합니다. 또한 루브 압력 (lube pressure), 연삭 및 연마 속도 (grinding and polishing speed), 재료 제거율, 모서리 브레이크 (edge break) 등과 같은 프로세스 매개변수에 대한 전체 설정을 지원하여 모든 주기의 정확한 결과를 제공합니다. 마지막으로, 20B-5L은 인체 공학적 설계를 제공하여 쉽게 작동 및 설치할 수 있습니다. 또한 컴팩트하고 비용 효율적이며, 예산이 제한된 타이트한 생산 공간에 적합합니다. 이러한 모든 기능을 통해 SPEEDFAM 20B-5L은 정밀 연삭, 랩핑 및 연마가 필요한 연구 및 생산 운영에 이상적인 선택입니다.
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