판매용 중고 SPEEDFAM 20B-5L #293813756

SPEEDFAM 20B-5L (SPEEDFAM 20B-5L) 은 매우 평평한 표면과 표면을 만드는 데 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 완전히 자동화된, 컴퓨터 제어 견고한 머신으로, 처리량이 높으며, 반복 가능하고 고품질의 결과를 제공합니다. 다용도가 높으며, 수 "밀리미터 '에서 수" 인치' 까지 광범위한 디바이스 크기를 처리하는 데 사용될 수 있다. 20B-5L에는 그라인딩 헤드, 랩핑 플레이트 및 연마 플레이트가 장착되어 있으며, 모두 정밀하고 2 축 더블 라이더 헤드에 장착되어 있습니다. 이 헤드는 워크플로우 속도를 높여 생산성 향상, 생산량 증대를 위해 설계되었습니다. 연삭 머리 에는 "다이아몬드 '연마제 가 있어서" 웨이퍼' 표면 을 관통 하고, 모양 을 하고, 거칠게 한다. 내부 냉각액 (internal cooling fluid) 은 절단 효율을 극대화하고 공정 중에 발생하는 열을 줄이는 데 사용됩니다. 랩핑 플레이트 (lapping plate) 는 크고 평평하고 질감 있는 서피스로 구성되며, 이는 높은 영역을 줄이고 웨이퍼를 가로 질러 짝수 서피스를 제공하는 데 사용됩니다. 공정 을 최적화 하기 위하여 "랩핑 '과 연마" 플레이트' 를 20 개 의 다른 "파라미터 '로" 프로그램' 할 수 있다. 여기에는 프로세스 중에 사용할 속도, 시간, 압력이 포함됩니다. 그 에 더하여, "플레이트 '를 여러 가지 기판 에 맞게 조정 할 수 있어서, 그 결과 를 더 잘 제어 할 수 있다. 마지막으로, 연마 판은 미세한 다이아몬드 연마제로 구성되며, 웨이퍼 표면을 더 다듬고 연마하는 데 사용됩니다. 이것 은 원하는 평평 한 수준 을 달성 할 때 까지, 표면 의 불규칙성 을 점진적 으로 감소 시킴 으로써 이루어진다. 다시 한 번, 다른 기판에 대해 최종 표면을 제어 할 수 있으므로 정확도가 높아지고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 결론적으로 SPEEDFAM 20B-5L은 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 사용하기 쉽고, 최소한의 노력으로 정확하고, 반복 가능하며, 고품질의 결과를 제공할 수 있습니다. "다이아몬드 '의 연마 성분, 조정 가능 한" 파라미터' 및 내부 냉각기 를 이용 하면, 사용 된 기판 에 관계 없이, 여러 가지 표면 유형 을 효율적 이고 효과적 으로 만들어 낼 수 있다.