판매용 중고 SPEEDFAM 18B-5L #9143480

SPEEDFAM 18B-5L
ID: 9143480
빈티지: 1983
Lapping system Includes: Pump Wafer position correcting carrier Direct lead Instruction 1983 vintage.
SPEEDFAM 18B-5L (SPEEDFAM 18B-5L) 은 마이크로 전자 장치에 초슬라트, 고정밀 표면을 만드는 데 사용되는 혁신적인 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 그것 은 "그라인딩 '과" 랩핑' 공정 의 조합 을 사용 하여 "웨이퍼 '에서 부드럽고 흠 없는 마무리 를 이룬다. 이 "시스템 '은" 알루미노실리케이트' 와 "레이저 '절제 금속 및 도자기 와 같은 여러 가지 물질 의" 웨이퍼' 연삭, 랩핑 및 연마 에 적합 하다. 18B-5L 장치에는 모든 기능을 갖춘 프로세스 제어 (process control) 기능과 자동화 기능이 제공되므로 각 부품 사이클에서 반복 가능하고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 기계는 탈착식 플레이트가있는 척 탑 홀더 (chuck top holder) 가있는 대형 그라인딩 플레이트를 갖추고 있습니다. 가변 속도 드라이브를 사용하면 SPEEDFAM 18B-5L을 프로그래밍하여 200 ~ 3000 RPM의 다양한 랩핑 및 그라인딩 (grinding) 작업을 수행할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다이아몬드 슬러리 또는 비 다이아몬드 연마제로 랩핑 할 수 있습니다. 18B-5L에는 특허를받은 냉각수 자산 (coolant asset) 이 있는데, 이 자산은 그라인딩 플레이트에 냉각재를 공급합니다. 이 모델에는 그라인딩 및 랩핑 프로세스 매개변수 (예: 회전 속도, 현재 온도) 를 보여 주는 디지털 디스플레이 (digital display) 도 함께 제공됩니다. 디스플레이에는 연삭 및 랩핑 중에 가공소재를 안전하게 유지하기위한 진공 연결 (vacuum connection) 도 있습니다. SPEEDFAM 18B-5L에는 로봇 로드 및 언로드, 자동화 플레이트, 웨이퍼 백 그라인딩 플레이트, 드레싱 디스크, 플래튼 홀더, 콘택트 휠 교체 및 다이아몬드 슬러리와 같은 다양한 주변 장치가 있습니다. 이 장비는 또한 정전기 방전 (electrostatic discharge) 의 가능성을 줄이고 작업 환경에서 가장 높은 수준의 안전을 보장하기 위해 이온화 된 스플래시 보호 (splash protect) 기능을 가지고 있습니다. 가변 속도 드라이브, 척탑 홀더를 사용한 그라인딩 플레이트 (grinding plate), 전체 프로세스 제어 기능, 특허를 획득한 냉각수 시스템, 디지털 디스플레이 및 전체 주변 장치 범위의 조합으로 인해 18B-5L은 고밀도 표면에 대한 강력한 랩핑 및 그라인딩 장치입니다. 즉, 사용자가 초슬레이트 서피스를 빠르고, 효율적으로, 그리고 가장 높은 수준의 안전을 만들 수 있는 기능을 제공합니다.
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