판매용 중고 SPEEDFAM 18B-4P-1M #9133577
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SPEEDFAM 18B-4P-1M 장비는 정밀 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 어플리케이션에 이상적입니다. 최대 4 개의 개별 공정 영역을 수용 할 수있는 강철 베이스 (Steel Base) 와 제작 된 프레임 구성 (Frame Construction) 으로 구성된 견고한 견고한 디자인이 특징입니다. 베이스에 장착 된 4 개의 기울기 및 가위 리프트 테이블은 서로 다른 각도 또는 작업 면 높이를 동시에 처리합니다. 각 "테이블 '의 작동 표면 은 습식 혹은 건조 한 연마," 랩핑', 연마 "애플리케이션 '중 에" 웨이퍼' 를 안전 하게 유지 하기 위하여 영구적 인 자석 으로 조정 되어 있다. 높은 토크, 가변 주파수 브러쉬 없는 DC 모터는 0 ~ 3600 RPM의 다양한 속도 설정을 가능하게 합니다. 이 시스템에는 공기 미립자 오염을 제거하기위한 먼지 조절 및 여과 시스템이 포함됩니다. 이 디자인은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 공정의 효율적이고 운영자 친화적 인 운영을 보장하는 한편, 잠재적 인 환경 위험 (Environmental Hazard) 노출의 위험을 줄입니다. 습식 또는 건식 연삭, 랩핑 및 연마 공정은 3 축 선형 및 각도 동작으로 제어 및 정밀 시간 동작 제어를 사용하여 수행됩니다. 이 과정에는 절단 및 제거 프로세스가 모두 포함되며, 이는 광학 및/또는 화학 표면 처리를 위해 사전 처리 된 준비 (pre-processed ready) 로 이어집니다. 이 장치는 순차적으로 연결된 작업을 사용하여 모든 웨이퍼 크기를 반복적으로 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼는 애플리케이션에 따라 수동으로, 또는 자동 웨이퍼 처리 시스템을 통해 로드/언로드할 수 있습니다. 18B-4P-1M 은 애플리케이션 요구 사항에 따라 다양한 프로세스 매개 변수를 수용하도록 설계되었습니다. 지표면 마무리 (surface finish) 와 원하는 초조정 (ultrastructuring) 효과를 제어하기 위해 쉽게 조정할 수 있다. 기계의 안전 및 작동 기능의 일부로, 모든 웨이퍼 위치가 정확하게 모니터링됩니다. SPEEDFAM 18B-4P-1M은 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마에 이상적인 도구입니다. 통합된 설계를 통해 프로세스 제어를 철저히 수행하고 유연성을 확보하여 고품질, 정확한 결과를 얻을 수 있으며, 환경/제품을 환경 장애로부터 보호할 수 있습니다. 전체 프로세스에 걸쳐 폐쇄 루프 (closed-loop), 정밀 제어 (precision control) 기능을 제공하여 각 웨이퍼 실행에서 반복 가능한 정확성과 정밀도를 보장합니다.
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