판매용 중고 SPEEDFAM 18B-4L / 16B-5L #9208824

SPEEDFAM 18B-4L/16B-5L은 상업적 용도로 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 업계의 다양한 응용프로그램을 위한 고정밀도 표면 마무리를 제공하는 첨단 (advanced) 시스템이다. 이 고성능 장치는 그라인더, 루프, 폴리셔, 버퍼 블레이드, 컴파운드 플레이트 등 여러 구성 요소로 구성되어 있으며, 모두 완전 자동화 공정으로 제어됩니다. 연삭 공정은 고속 연삭 휠 (grinding wheel) 으로 시작하여 웨이퍼 표면에서 과잉 재료를 정확하고 효율적으로 제거하기 위해 최대 4,500 RPM으로 회전합니다. 그라인딩 후, 서피스는 랩핑 (lapping) 을 위해 준비되며, 다이아몬드 페이스트 및 압축을 사용하는 최적화 된 회전 랩핑 장치 (optimized rotating lapping unit) 를 사용하여 최적화되고 일관된 웨이퍼 서피스 평탄성과 병렬화를 보장합니다. "랩핑 '과정 에 이어, 정밀 평면화 와 표면 마무리 를 가능 하게 하기 위한 여러 가지 설정 을 가진 특수 연마 장치 (specialized polishing machine) 가 뒤따른다. 이 매우 정밀한 연마 도구는 최대 0.2 m의 한계 echelon 및 0.052 mm (Ra) 까지 표면 질감을 달성 할 수 있습니다. 그런 다음 에셋은 버퍼 블레이드 (buffer blade), 복합 플레이트 (compound plate) 및 기타 특수 도구를 사용하여 고도로 연마되고 반사적 인 표면 마무리를 생성합니다. 또한 18B-4L/16B-5L은 맞춤형 프로세스 레시피, 연삭, 랩핑 및 연마 시간, 로드 모니터링 및 진단 기능, 제품 추적 가능성 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이것들은 모델의 높은 정확도, 반복성 (repeatability) 과 함께 다양한 재료와 응용 프로그램에 적합한 고품질 (high-quality) 결과를 제공하는 솔루션입니다.