판매용 중고 SPEEDFAM 18 DPAW #9226985

SPEEDFAM 18 DPAW
ID: 9226985
빈티지: 1982
Single sided polisher 1982 vintage.
SPEEDFAM 18 DPAW (Dual Plate Abrasive Wheel) 는 반도체 웨이퍼의 쉽고 효율적인 처리를 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 복잡한 집적 회로 (integrated circuit) 를 제작할 수 있도록 높은 정확도와 높은 처리량을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 정밀 슬라이싱 동작을 제공하는 2 개의 양면 연마식 플래터 휠을 사용합니다. 이 작업은 반도체 웨이퍼의 일관성이 유지되고, 랩핑 및 연마가 가능합니다. 18 DPAW는 6 축 모션 머신과 수정 가능한 카세트 도구를 갖춘 소형 머신입니다. "카세트 '에셋 을 이용 하여, 기판 들 을 상당 히 많은 시간 의 가동 중지 없이 처리 할 수 있다. 또한이 모델의 스핀들 속도는 최대 3000 RPM이며, 정밀도는 최대 75µin/입니다. 고성능 그라인딩, 랩핑 및 연마 인터페이스가 장비에 추가로 통합됩니다. 그라인딩 인터페이스 (grinding interface) 는 진정한 균일 한 재료 제거를 제공하도록 설계되었으며, 랩핑 프로세스는 고품질의 마무리 (finish) 와 좋은 서피스 마무리 (surface finish) 를 제공합니다. SPEEDFAM 18 DPAW는 사용자에게 친숙한 컨트롤을 제공하여 사용자가 매개변수와 설정을 수정할 수 있도록 합니다. Wi-Fi 및 이더넷 연결도 포함되어 있으며, 제어, 프로그래밍, 진단 및 기타 모니터링 기능에 대한 로컬 또는 원격 액세스를 제공합니다. 운영자 피드백은 통합 HMI (Human Machine Interface) 를 통해 추가로 제공됩니다. 이 시스템은 업그레이드 가능한 컨트롤러 (controller) 를 제공하여 단위와 성능을 쉽게 유지할 수 있습니다. 18 DPAW는 110 ~ 220VAC의 입력 전압에 대해 정격이며, 전력 소비량은 10 ~ 20kW입니다. 이 기계는 10 ° C ~ 35 ° C의 여러 작동 온도에서 작동 할 수 있습니다. 이 툴은 1 년 보증 서비스를 제공하며, 향상된 교육 프로그램과 고객 기술 지원 (customer technical support) 을 제공합니다. SPEEDFAM 18 DPAW는 사용하기 쉬운 제어 자산, 고성능 그라인딩 및 랩핑 인터페이스, 사용자 친화적 매개변수를 결합하여 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델을 제공합니다. 이 장비는 고속, 정밀도, 정확도를 갖춘 복잡한 집적회로의 제작에 이상적입니다.
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