판매용 중고 SPEEDFAM 18 DPAW #9224527
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SPEEDFAM 18 By DPAW는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 가변 속도 모터를 갖춘 동적으로 균형 잡힌 유연한 암 그라인딩 시스템 (flexible arm grinding system) 과 다목적 랩핑 플레이트 및 지원 어셈블리로 구성됩니다. 이 기계는 반도체 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. SPEEDFAM은 고른 마모와 웨이퍼에서 고품질 마무리를 허용합니다. "플렉시블 암 그라인딩 '장치 는 연마" 휠' 을 자유자재 로 움직 여 "웨이퍼 '에 손상 될 위험성 을 감소 시킨다. 여러 "모우터 '를 사용 하면 연삭 압력 을 조절 하여 균일 한 연삭 을 하고" 웨이퍼' 를 마칠 수 있다. 랩핑 플레이트는 웨이퍼 표면에 연마 슬러리를 분배하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 "랩핑 '과정 중 에" 웨이퍼' 를 조차 마실 수 있으며 그 결과 는 일관성 이 있다. "플레이트 '는 또한" 랩핑' 과정 을 대단 히 제어 하여 "랩핑 '과정 의 속도 와 강도 를 조정 할 수 있게 해 준다. SPEEDFAM 18에는 웨이퍼 자동 로드, 언로드, 프로세스 내 모니터링, 피드백 시스템 등 다양한 자동화 옵션이 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '를 갈아서 연마 할 때 보다 효율적 이고 정확 한 과정 을 수행 할 수 있다. 또한, 부적절한 처리 또는 부적절한 자동화로 인해 웨이퍼가 손상될 위험이 줄어듭니다. SPEEDFAM 18은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 조정 가능한 연삭 압력, 랩핑 플레이트 (lapping plate) 및 자동화 옵션을 사용하면 웨이퍼를 정확하고 일관되게 마무리 할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 기계 의 설계 는 "웨이퍼 '에 손상 될 위험성 을 감소 시킴 으로써 고도 의" 오퍼레이터' 안전 을 허용 한다.
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