판매용 중고 SPEEDFAM 16B #9410059
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SPEEDFAM 16B 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 광택 장비는 가장 섬세한 어플리케이션을 위해 고정밀 웨이퍼를 생산할 수있는 다용도 기계입니다. 이 "시스템 '은 처리량 이 높도록 설계 되었으며, 여러 가지 크기 와 형태 로" 웨이퍼' 를 극히 훌륭 하게 연마 하기 위한 요구 조건 을 충족 시킨다. 스피드 팜 16 B (SPEEDFAM 16 B) 는 그라인딩 헤드에서 복잡한 공기 스트림을 스트리밍하여 복잡한 형상의 정확한 그라인딩을 허용합니다. 16B는 진동, 연속 회전 및 드릴링을 포함한 여러 가지 그라인딩 모드를 제공합니다. 진동 분쇄는 일반적으로 단조 분쇄 표면을 제공하는 일정한 분쇄 압력을 사용합니다. 특정 응용 프로그램에 대한 다양한 압력으로 지속적인 회전이 더욱 적극적으로 증가합니다. 드릴링 모드는 더 깊은 그라인딩 깊이 (grinding depth) 와 양장성을 제공합니다. 모터 속도, 압력, 공기 속도, 유지 시간 등 다양한 사용자 정의 가능한 매개 변수를 통해 16 B는 다양한 솔루션을 제공합니다. SPEEDFAM 16B는 연삭 및 랩핑 중에 최적의 냉각을 보장하는 혁신적인 냉각 장치를 갖추고 있습니다. 공기나 액체 냉각제를 작업 영역 전체에 순환시켜 웨이퍼의 균일 한 가열을 보장합니다. 이 기계 는 또한 진동 을 제거 하고 "와퍼 '가 연삭 하기 전 에 완전 히 직선 을 유지 하는 특수 한 진동 감쇠 장치 를 갖추고 있다. SPEEDFAM 16 B에는 몇 가지 고유 한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 공구에는 안전 도어 (Safety Door) 가 열려 있으면 기계가 작동하지 않도록 하는 안전 연동 (Safety Interlock) 스위치가 장착되어 있습니다. 또한 하중이 없으면 그라인딩 헤드 (grinding head) 가 회전하는 것을 방지하는 부하 방지 자산이 없습니다. 이 모델은 걸림 (jam) 이 감지되면 기계가 실행되지 않도록 설계되었습니다. 16 B에는 자동 웨이퍼 로드/언로드 (unload) 장비가 장착되어 있어 웨이퍼를 수동으로 공급할 필요가 없습니다. 또한 모서리 감지 (edge detection), 타이밍 (timing), 각도 감지 (angle detection) 와 같은 여러 품질 제어 기능이 장착되어 연삭 과정의 정확성과 일관성을 보장합니다. 16 B 는 매우 강력 한 기계 로서, 광범위한 프로세스 를 통해 뛰어난 결과 를 거둘 수 있습니다. 피쳐와 사용자정의 가능한 매개변수는 정확하고 일관된 그라인딩을 보장하도록 설계되었습니다. 안전 기능 덕분에 SPEEDFAM 16B는 매우 신뢰할 수있는 웨이퍼 그라인딩 장치입니다.
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