판매용 중고 SPEEDFAM 16B #9281362
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SPEEDFAM 16B는 정밀 웨이퍼 및 광학 부품 처리를 위해 SPEEDFAM에서 개발 한 단면 연삭, 랩핑 및 연마 기계입니다. 이 기계는 다양한 실리콘, 석영, 유리, 세라믹, 페라이트, 복합 소재 및 기타 소재를위한 뛰어난 연삭, 랩핑 및 연마 기능을 제공합니다. 장비는 초정밀도로 최대 200mm (직경) 의 기판 크기를 처리 할 수 있습니다. 1 nm rms 미만의 거칠기 (roughness) 의 표면 마무리를 달성 할 수 있으며, 최대 10 도의 표면에서 3 아크 초 이상의 개선 된 각도 정확도를 포함 할 수 있습니다. 이 시스템에는 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 제어하기위한 사용자 친화적 인 직관적 인 HMI (human-machine interface) 가 장착되어 있습니다. 그것은 더 나은 표면 마무리를 제공하기 위해 여러 개의 다이아몬드 곡물이있는 2 단계 그라인딩 휠을 특징으로합니다. 또한 자동 공구 체인저 (Automatic Tool Changer) 와 공구 유형 제어 장치 (Control Unit) 를 사용하여 최상의 서피스 마무리를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 생산 효율을 극대화하도록 설계되었습니다. 이 기능에는 연삭 및 랩핑 연산의 정확한 조정을 위해 혁신적인 속도 조절 가능한 연마 평면이 포함됩니다. 또한 자동 로드 툴과 프로세스 모니터링이 있습니다. 또한, 연삭 휠 또는 연마로 인한 표면 변형을 측정하기위한 압력 조절 하중 셀 (pressure-controlled load cell) 은 생산성을 극대화하는 데 도움이 될 수있다. 에셋은 또한 모델 안전성을 보장하며, 안전 에지 (safe-edge) 검출기가 연삭 속도를 제어합니다. 또한 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스 전반에 걸쳐 프로세스 매개변수의 실시간 디지털 디스플레이를 제공합니다. 정확도가 높은 SPEEDFAM 16 B 장비는 엄격한 요구 사항에 따라 웨이퍼 (wafer) 및 광학 부품을 처리하는 데 적합합니다.
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