판매용 중고 SPEEDFAM 16B #293829290
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SPEEDFAM 16B는 일본 회사 SPEEDFAM Corporation (이전의 SPEEDFAM Co., Ltd.) 에서 설계 및 제조 한 아트 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비의 상태입니다. 반도체 업계의 용도에 이상적인 시스템입니다. 기계는 '분쇄력' 과 '랩핑 힘' 의 조합을 사용하여 웨이퍼 표면의 품질을 향상시킵니다. 그라인딩 힘 (Grinding force) 은 서피스에서 거칠음을 제거하는 데 도움이되고 랩핑 힘은 서피스 결함을 레벨아웃하는 데 사용됩니다. 직경이 최대 16 인치인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 별도로 조절 가능한 그라인딩 스톤 2 개, 별도로 조절 가능한 랩핑 플레이트 2 개, 독립적으로 작동하는 연마 헤드 2 개가 있습니다. 웨이퍼의 전동 연삭 및 랩핑은 민감한 압력, 전류 및 RPM 제어 장치에 의해 제어됩니다. 연마 헤드는 고급 PLC 제어 머신 (advanced PLC Control Machine) 에 의해 작동되며, 스피드 센서를 사용하여 연마 속도에 대한 높은 정밀 제어를 제공합니다. 이렇게 하면 웨이퍼가 일관되고 균일 한 표면 마무리를 받게 됩니다. 자동 로드 및 언로드 툴이 포함되어 있어, 웨이퍼 처리를 효율적으로 수행할 수 있습니다. 에셋에는 연삭/랩핑 플레이트의 압력 센서 (pressure sensor) 및 연마 헤드 (polishing head) 와 같은 피드백 메커니즘이 포함되어 있어 웨이퍼 상태에 대한 피드백을 제공합니다. 이를 통해 연삭, 랩핑 및 연마 주기 내내 일관된 성능을 보장합니다. SPEEDFAM 16 B 는 작은 설치 공간 (Footprint) 을 갖춘 컴팩트형으로, 전체 모델은 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 비상 정지 (Emergency Stop) 및 먼지 제거 시스템 (Dust Removal System) 과 같은 통합 안전 기능을 통해 안전한 작업 환경을 보장할 수 있습니다. 전체적으로 16B는 연삭, 랩핑 및 연마 웨이퍼를위한 업계 표준 장비입니다. 고급 기능, 정밀성 및 신뢰성을 통해 반도체 산업을 위한 이상적인 도구입니다.
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