판매용 중고 SPEEDFAM 16B #293825438

ID: 293825438
빈티지: 2008
Double sided polisher 2008 vintage.
SPEEDFAM 16B는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 대량으로 저조도 웨이퍼 생산을 위해 설계되었습니다. 6 인치 및 8 인치 직경의 웨이퍼 크기를 처리하도록 설계되었으며, 시간당 최대 4,000 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 자동 로드, 언로드, 완전 자동화된 엔드 포인트 감지 시스템 등의 기능을 통해 SPEEDFAM 16 B 는 다양한 애플리케이션을 위한 신뢰할 수 있는 대용량 솔루션이 됩니다. 이 장치에는 연삭/랩핑/연마 헤드, 장전/언로드 암 및 기타 구성 요소가 포함 된 본체/기지가 포함되어 있습니다. 연삭/랩/연마 헤드는 회전 테이블에 장착되며 높이와 각도 모두에서 조정 가능합니다. 높이 및 각도를 조정하면 다양한 웨이퍼 크기와 모양에 적응할 수 있습니다. 또한, 헤드에는 다양한 힘, 속도 및 압력 조합을 위해 0-600 rpm의 다양한 나선형 연삭/연마 속도가 장착되어 있습니다. 로드/언로드 암은 2 채널 자동 홀더에 연결된 전동 롤러 머신입니다. 로딩 암에는 2 개의 롤러와 5 개의 웨이퍼 홀더가 포함 된 트레이가 장착되어 있습니다. "홀더 '는" 와퍼' 를 "트레이 '밖 으로, 그리고" 도구' 로 자동 이동 시키도록 설계 되었으며, 언로드 암 은 처리 된 "웨이퍼 '를" 트레이' 로 돌려보낸다. 자산을 제어하기 위해 본체와 통합된 16 "컨트롤 패널이 있습니다. 이를 통해 운영자는 모델 작업을 손쉽게 모니터링, 조정, 제어할 수 있습니다. 또한 제어판에는 USB 포트와 이더넷 연결 (Ethernet connection) 이 장착되어 있어 장비의 원격 액세스 및 작동이 가능합니다. 16B는 금, 니켈, 알루미늄, 티타늄 및 텅스텐으로 코팅 된 것을 포함하여 다양한 웨이퍼 표면을 처리 할 수 있습니다. 압력, 온도, 연삭 시간, 제품 품질 등의 매개변수를 측정하기 위한 프로세스 내 센서가 장착되어 있습니다. 이 데이터는 제어판을 통해 모니터링할 수 있으며, 각 프로세스를 최적화하는 데 사용됩니다. 16 B는 저조도 웨이퍼의 대용량 생산을위한 정교하고 신뢰할 수있는 시스템입니다. 다양한 기능과 기능을 통해 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 등의 다양한 어플리케이션에 적합합니다.
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