판매용 중고 SPEEDFAM 16B #293793490

ID: 293793490
빈티지: 2016
Double sided polisher 2016 vintage.
SPEEDFAM 16B는 포토 마스크 기판 및 기타 관련 평면 패널 재료를 만드는 데 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 철저한 테스트를 거쳐 효율성이 높은 것으로 입증 된 고정 헤드 그라인딩 (fixed-head grinding) 프로세스를 사용합니다. SPEEDFAM 16 B 시스템은 웨이퍼 그라인딩 프로세스를 간소화하며 균일 한 표면 마무리로 포토 마스크 (photomask) 를 만드는 데 사용할 수 있습니다. 16B 장치는 독특한 2 단계 접근 방식으로 연삭 및 연마 프로세스를 분리합니다. 제 1 단계 에서, 기계 는 "다이아몬드 휠 '을 사용 하여 기판 을 갈아서" 프로파일' 화 하여 균일 한 평면 마무리 를 이루기 위해 일 한다. 이 단계 를 조정 하여, "와퍼 '크기 를 작고 큰" 다이' 에서부터 연마 된 "쿼츠 '나 수정 된" 실리콘 웨이퍼' 와 같은 기판 형식 에 이르기 까지 다양 하게 만들 수 있다. 공구의 두 번째 단계는 웨이퍼 서피스를 닦는 데 사용됩니다. 이 단계 에서는 화학 "서스펜션 '자산 과 함께" 다이아몬드' 연마제 로 구성 된 연마 "휠 '을 사용 한다. 그런 다음, 서스펜션 모델은 연마 제를 웨이퍼 전체 표면에 균일하게 분산시키는 작용을한다. 이것은 원치 않는 인공물과 긁힘없이 균일 한 표면 마무리를 보장합니다. 2 단계 프로세스 외에도 16 B에는 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖춘 정교한 제어 장비가 있습니다. 이 제어 시스템을 사용하면 연산자가 처리 매개변수를 조정하여 원하는 마무리 (finish) 및 기판 (substrate) 특성을 달성할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 모니터링 머신 (monitoring machine) 이 장착되어 있어 원치 않는 연삭 및 연마 설정의 빠른 피드백 및 교정이 가능합니다. 이 피드백 루프 (feedback loop) 는 연산자가 필요에 따라 매개변수를 변경하여 원하는 결과를 얻을 수 있음을 의미합니다. 결론적으로, SPEEDFAM 16B는 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 도구로, 운영자가 균일하고 효율적인 정밀 기판을 만들 수 있습니다. 2 단계 프로세스와 정교한 제어 자산은 비싸고 시간이 많이 드는 수동 연삭 및 연마 (polishing) 를 제거하여 포토 마스크 기판 및 기타 평면 패널 재료에 적합한 결과를 제공합니다.
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