판매용 중고 SPEEDFAM 16B #293625652

ID: 293625652
Lapping machines ATC Load cell (3) Motors.
SPEEDFAM 16B는 균일하고 고품질 웨이퍼의 처리량 생산을 위해 설계된 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 장비입니다. 이 시스템은 최대 16 "웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 높은 수준의 프로세스 제어를 제공합니다. SPEEDFAM 16 B 장치는 연삭 스테이션, 랩핑 스테이션 및 연마 스테이션의 3 가지 처리 스테이션으로 구성됩니다. 세 스테이션 모두 공통 회전 축을 공유하며, 이 축을 사용하면 수동 시스템에 비해 처리량이 높아집니다. 연삭 스테이션은 다이아몬드 연마제를 사용하여 매끄럽고 결함이없는 표면을 제공합니다. 랩핑 스테이션은 표면 결함이없는 균일 한 표면 마무리를 제공합니다. 마지막으로, 연마 스테이션은 광학적으로 까다로운 응용 분야를 충족시키는 거울 같은 표면 마무리를 제공합니다. 이 기계는 또한 닫힌 루프 프로세스 제어 알고리즘 (closed loop process control algorithm) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 프로세스 매개변수를 지속적으로 조정하여 일관된 웨이퍼 마무리를 보장할 수 있습니다. 이러한 제어 수준은 높은 반복성을 보장하며, 주기 시간을 단축합니다. 이 도구는 연삭 및 랩핑 작업에 모두 수용성 윤활제에 사용하도록 설계되었습니다. 또한 프로그래밍 가능한 사이클 시간이 있으며, 최대 제어 및 유연성이 가능합니다. 자산은 또한 자동 안전 연동 모델 (automatic safety interlock model) 을 특징으로하여 잠재적 위험을 방지합니다. 16B 는 강력하고 신뢰할 수 있는 장비로, 광범위한 애플리케이션에서 사용하기에 적합합니다. 높은 수준의 프로세스 제어 (process control) 와 높은 수준의 처리량 (throughput) 및 프로세스 반복 (repeatability) 기능을 필요로 하는 애플리케이션에 이상적입니다. 견고한 구성과 자동화된 프로세스를 통해 고품질 웨이퍼 (wafer) 를 생산할 수 있는 귀중한 툴이 됩니다.
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