판매용 중고 SPEEDFAM 16B-5P #293589767

SPEEDFAM 16B-5P 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 가장 효율적인 방법으로 최고 품질의 표면 마무리를 생성하도록 설계된 정밀 기계입니다. 5 개 스테이션 공정 챔버, 고효율 진공 펌프, 고로드 압력 게이지 시스템, 수직 및 수평 조정 옵션 등이 있습니다. 16B-5P의 5 개 스테이션 공정 챔버는 고급 다이 캐스팅 베이스로 구성되며 2 개의 랩핑 플레이트, 1 개의 연마 플레이트 및 2 개의 연삭 플레이트를 포함합니다. 이 구조는 한 번에 5 개의 웨이퍼를 동시에 랩핑, 그라인딩 및 연마하여 시간과 비용을 절약 할 수 있습니다. 웨이퍼 플레이트 (wafer plate) 는 연삭, 랩핑 및 연마 과정에서 매우 내구성이 높고 높은 하중을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. "랩핑 '판" 모듈' 에는 최적 의 질 의 표면 마무리 를 이루는 데 중요 한 역할 을 하는 특수 한 "세라믹 '재료 가 장착 되어 있다. SPEEDFAM 16B-5P에는 강력한 진공 펌프 (Vacuum pump) 도 포함되어 있으며, 약 70 미크론 깊이로 진공을 빠르게 만들 수 있습니다. 또한 "펌프 '에는 현재 의 진공 수준 을 표시 하는 압력계 가 통합 되어 있다. 이렇게 하면, 진공압을 필요한 수준으로 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 고로드 압력 게이지 장치 (high-load pressure gauge unit) 가 장착되어 각 웨이퍼에 가해지는 압력이 최적의 수준으로 유지되도록 합니다. 압력 게이지 (pressure gauge) 는 장치 내에 있는 일련의 센서를 통해 적용된 압력을 측정하며, 수동으로 또는 디지털 디스플레이 (digital display) 를 통해 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 16B-5P 는 수직 (vertical) 및 수평 (horizontal) 조정 옵션을 제공하여 시스템이 수행 중인 프로세스에 대해 항상 올바르게 설정되었는지 확인합니다. 이를 통해 SPEEDFAM 16B-5P의 균일 한 성능이 모든 기판 크기와 연마 매체에 걸쳐 유지됩니다. 요약하면, 16B-5P (16B-5P) 는 안정적이고 효율적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계로, 가장 효율적인 방식으로 최고의 표면 마무리를 제공하도록 설계되었습니다. SPEEDFAM 16B-5P는 5 개 스테이션 공정 챔버, 고효율 진공 펌프, 고로드 압력 게이지 도구를 활용하여 최적의 품질의 표면 마무리를 빠르고 일관되게 달성 할 수 있습니다. 이 장치의 수직 (vertical) 및 수평 (horizontal) 조정 옵션을 사용하면 모든 기판 크기와 연마 매체에 대한 범용 일관성과 균일성을 더욱 향상시킬 수 있습니다.